Sprutende mål

Teknisk parameterliste over flerlags optisk belegningsmaskin

modell

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Beleggromsstørrelse

Ф1050 × 1250, 304 rustfritt stål.

×800 × 1000

Ф900 × 1050

Ф1200 × 1250

Innvendig størrelse på belegghulen

Festebraketten er 1680 mm over bakken, egnet for ergonomisk betjeningshøyde.

Festebraketten er 1468 mm over bakken, egnet for ergonomisk betjeningshøyde.

Festebraketten er 1510 mm over bakken, egnet for ergonomisk betjeningshøyde.

1.Buet plate med enkelt emne, å møte kunder’ behov for enhetlighet i større grad. Rotasjon 5-30r/min, trinnløs hastighetsendring.

2.Den buede skiven med tre arbeidsstykker, planetarisk revolusjon og rotasjon, for å møte kundenes behov for produksjonskapasitet i størst grad.Rotasjon 5-30r/min, trinnløs hastighetsendring.

Armatur

Tilgjengelig i fire deler, vinkelen på braketten er justerbar, for å dekke behovene til kundene for enhetlighet i større grad.Rotasjon 5-30r/min, trinnløs hastighetsendring.

Buet plate med enkelt emne, å møte kunder’ behov for enhetlighet i større grad. Rotasjon 5-30r/min, trinnløs hastighetsendring.

Vakuumsystem

Enhet: diffusjonspumpe DIP-12000 (Leybold), Røtterpumpe ZJY-300, mekanisk pumpe 2X-70, vedlikeholdspumpe 2X-8.Rørledningen er 304 rustfritt stål.

Enhet: Diffusjonspumpe KT-400 (Zhenhua), Røtterpumpe ZJY-150, mekanisk pumpe 2X-70, vedlikeholdspumpe 2X-8.

Enhet: diffusjonspumpe KT-600 (Zhenhua), Røtterpumpe ZJY-600, mekanisk pumpe 2X-70, vedlikeholdspumpe 2X-8.

Enhet: Diffusjonspumpe KT-800 (Zhenhua), Røtterpumpe ZJY-600, mekanisk pumpe 2X-70, vedlikeholdspumpe 2X-8.

Ultimate vakuum: bedre enn 4 × 10-4 Pa.

Utstyrt med anti-turbulens enhet, sikkerhetslåsdesign, manuell og automatisk valgfri.

Varmesystem

Oppvarmingsmetode på varmerør, PID -kontroll, maks 350 ℃ ± 1,5 ℃.

Arbeidsgassinflasjon

Gassmassestrømningsinstrument eller manuell finjustering av oppblåsingsventil.

Vakuumioniseringsbombardement

DC 3KV, 06KW stangkatode (brukes til å rengjøre arbeidsstykket før belegg).

Fordampningskilde (valgfri)

1. TELEMARK-270 ° elektronpistol (importert), 6KW, høy spenning 4KV-10KV justerbar. posisjoneringsskanning, trekantbølgesøk, sirkulær skanning, spiralskanning.God strålepunktfokusering, høy posisjoneringsnøyaktighet, og god repeterbarhet for skanning.

2. Innenriks elektronpistol (Zhenhua): 6KW, høy spenning 4KV ～ 8KV justerbar, kan velge trekantbølge, sinusbølge, firkantbølge som skanner fritt.

3. Digel: seks-hulrom Φ38 × 20 smeltedigel eller firekavitet Φ38 × 20 pluss en-hulrom bueformet digel med en midtbue lengde på 87 (brukes til høyt forbruk av fordampningsmaterialer med lavt smeltepunkt) eller digel med fire hulrom Φ48 × 18.

Ionkilde (valgfri)

1. RF (Radiofrekvens) Ionkilde (Importert).

2. 5KVA Hall ion source (produsert av Zhenhua), brukes til rengjøring før galvanisering eller tilleggsplating i galvaniseringsprosessen, som er gunstig for å forbedre filmens brytningsindeks, fastheten, og filmens tetthet og vedheft.

Kontroll av filmtykkelse (valg)

1. MDC-360 krystallkontroller (importert) kan lagre 1 ～ 99 lag med automatisk beleggingsprosess, 99 typer programdata, nøyaktighet 0.5%+1? Rettet feil. 2TELEMARK-880 krystallkontroller (import): kan lagre 1 ～ 99 lag med automatisk beleggingsprosess, 99 typer programdata. 精度 0,5%+1? Rettet feil.

3. TELEMARK-820 optisk kontroller (import): vedtar multi-bølgelengde full-spektrum endepunkt analyse teknologi, og dømmer slutten av filmen ved å analysere transmittansen (eller refleksjon) kurven på skjermarket 370-870 mm. Høy kontrollnøyaktighet, enkel bølgelengdekontroll, automatisk kontroll og manuell kontroll kan også brukes. Ekstra MACILEOD filmberegningsprogramvare, høy grad av integrasjon.

4. TELEMARK-820 optisk kontroller og TELEMARK-880 krystallkontroller kan tilfredsstille kravene til høy presisjon og høy repeterbarhet. Samarbeid med vertsdatamaskin for å realisere helautomatisk kontroll.

5. Innenriks optisk kontroller (som for eksempel 9704 matchende monokromator, etc.), bølgelengden er justerbar fra 330 til 870, og nøyaktigheten kan nå ± 1,5 nm.

Kommunikator

Med magnetisk base, den kan plasseres i hvilken som helst posisjon på vakuumkammerdøren og kontrollskapet.

Kanskje du liker det også