Velkommen til vår hjemmeside
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrielle nyheter

» Nyheter » Industrielle nyheter

Prinsipp for magnetron -sputtering -sputtering -mål

2021年8月31日

 

Prinsipp for forstøvning av målmagnetronforstøvning:

Et ortogonalt magnetfelt og elektrisk felt legges til mellom det sprutede målet (katode) og anoden, og nødvendig inert gass (vanligvis Ar gass) er fylt i høyt vakuumkammeret. Den permanente magneten dannes 250-350 på overflaten av målmaterialet. Det gaussiske magnetfeltet, og det høyspente elektriske feltet danner et ortogonalt elektromagnetisk felt.

Under virkningen av det elektriske feltet, Ar gass ioniserer til positive ioner og elektroner. En viss negativ høyspenning påføres målet. Elektronene som sendes ut fra målet påvirkes av magnetfeltet og ioniseringssannsynligheten for arbeidsgassen øker, danner et plasma med høy tetthet nær katoden. Under handlingen av Lorentz -kraften, Arioner akselererer til måloverflaten og bombarderer måloverflaten i høy hastighet, slik at atomene som sprutet ut av målet følger prinsippet om momentumkonvertering og flyr vekk fra overflaten med høyere kinetisk energi. Substratavsetning til film.

Magnetronforstøvning er vanligvis delt inn i to typer: sideelverforstøvning og radiofrekvensforstøvning. Prinsippet om sideelverutstyr er enkelt, og hastigheten er også rask når man sputter metaller .. Bruksområdet for radiofrekvensforstøvning er mer omfattende. I tillegg til å sprute ledende materialer, ikke-ledende materialer kan også sprutes. Samtidig, den kan også utføre reaktiv forstuing for å fremstille sammensatte materialer som oksider, nitrider, og karbider..Hvis frekvensen til radiofrekvensen økes, det blir mikrobølge plasma plutring. Nåværende, elektron -syklotronresonans (ECR) type mikrobølge plasma plutring er ofte brukt..

Kanskje du liker det også

  • Kategorier

  • Nylige nyheter & Blogg

  • Del til en venn

  • SELSKAP

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd.. er et kinesisk foretak som spesialiserer seg på behandling av ikke-jernholdige metaller, betjener globale kunder med produkter av høy kvalitet og perfekt ettersalgsservice.

  • Kontakt oss

    Mobil:86-400-660-1855
    E-post:[email protected] aliyun.com
    Internett:www.chn-ti.com