Produksjon og påføring av PVD-belagte titanaluminium Sputtering-mål

Tradisjonelt brukt støpemetode og pulvermetallurgimetode for å produsere titanaluminiumlegeringsmål.

Støpemetoden for titan -aluminiumslegeringsmål kan ikke unngå porøsitet og krymping. Støpte rør og ingots i titanaluminium kan ikke garantere tetning og vanntett effekt når målet for det roterende røret gjøres, og som rørveggen er etset, veggtykkelsen endres tynn, løse og krympingshull så lenge det er et hull tilkoblet, forseglingen vil bli verre, de lettere vil lekke, målrøret begynner å tømmes, eller en stor mengde urenhet vil delta i reaksjonen og føre til at filmen faller eller fargen er feil..I alvorlige tilfeller, vann injiseres direkte fra krympekaviteten til vakuumkammeret, som vil forurense det virkelige hulrommet og vakuumenheten.

Pulvermetallurgi prosessproduksjonTitanium aluminium målDet er ikke noe problem med porøsitet og svinn, men fra det mikroskopiske synspunktet for pulvermetallurgi, det er også et porøst materiale, så hvis du vil lageTitanium aluminium roterende rør mål, Kravene til materialkompaktitet er svært strenge, tettheten må være større enn 98%, men å oppfylle kravene til tetthet betyr ikke at den kan brukes.Hvis oksygeninnholdet i titanaluminiumgoten er høyt og mikrostrukturen er urimelig, den interne belastningen til titan aluminiumsgutten er stor, og det er lett å kollapse, og det kan ikke brukes som et roterende rørmål. Derfor, det er mange krav til pulverproduksjon og partikkelstørrelsesforhold .. Selv om disse betingelsene er oppfylt, pulvermetallurgi -titanaluminiumringen må bindes til røret i rustfritt stål eller titanrøret. På grunn av den store termiske ekspansjonskoeffisienten for titanaluminium, den lokale målutvidelsen kan nå null under sputtering..5 ～ 1m, så den tradisjonelle metoden for å binde ingots kan ikke effektivt løse dette problemet. Separasjonen av titan- og aluminiumbindende staver oppstår, og den termiske energien til måloverflaten kan ikke ledes og sprekke..Men, den tett matchende bindingen er upålitelig, og kvaliteten på plasmasprayet titanaluminiumlegering er dårlig..

Dekorativt belegg rose gull i klokken, smykker, og brilleindustri. Nylig, mange krav inneholder ikke karbon og ytterligere gjør den underliggende rosefargen nær ansiktet rosegull..I vår mening, TiCN kan ikke lenger oppfylle kravene. TiAlN er den mest perfekte løsningen. Avanserte ursmykker har ingen krav til filmtykkelse og glans. De fleste av dem bruker bue av titanaluminium for å deponere TiAlN. High-end klokker krever en tykkelse på mer enn 1um og glans. Kan ikke slippe. Buen påvirkes av dråper og har ingen fordel i glatt og tykk film.FraO'KellyDet kan sees av tilbakemeldingen fra den nåværende forsyningsordren at en bedre måte er å sette inn TiAIN med et roterende rørmål, ikke bare fargen er nærmere roségull, men glansen påvirkes ikke etter at tykkelsen er økt..