Sputterende doelen

Technische parameterlijst van meerlagige optische coatingmachine:

model-

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Grootte van de coatingruimte

Ф1050×1250, 304 roestvrij staal.

Ф800×1000

Ф900×1050

Ф1200×1250

Binnenmaat van coatingholte:

De armatuurbeugel bevindt zich 1680 mm boven de grond, geschikt voor ergonomische bedieningshoogte.

De armatuurbeugel bevindt zich 1468 mm boven de grond, geschikt voor ergonomische bedieningshoogte.

De armatuurbeugel bevindt zich 1510 mm boven de grond, geschikt voor ergonomische bedieningshoogte.

1.Gebogen enkelvoudige werkstukschijf, om klanten te ontmoeten’ meer uniformiteit nodig. Rotatie 5-30r/min, traploze snelheidsverandering.

2.De gewelfde schijf met drie werkstukken, planetaire revolutie en rotatie, om zoveel mogelijk aan de behoeften van klanten aan productiecapaciteit te voldoen. Rotatie 5-30r/min, traploze snelheidsverandering.

Armatuur

Verkrijgbaar in vier delen, de hoek van de beugel is verstelbaar;, om in grotere mate aan de behoeften van klanten voor uniformiteit te voldoen. Rotatie 5-30r/min, traploze snelheidsverandering.

Gebogen enkelvoudige werkstukschijf, om klanten te ontmoeten’ meer uniformiteit nodig. Rotatie 5-30r/min, traploze snelheidsverandering.

Vacuüm systeem

Eenheid: diffusiepomp DIP-12000 (Leybold), Wortelpomp ZJY-300, mechanische pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8. De pijpleiding is: 304 roestvrij staal.

Eenheid: Diffusiepomp KT-400 (Zhenhua), Wortelpomp ZJY-150, mechanische pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8.

Eenheid: diffusiepomp KT-600 (Zhenhua), Wortelpomp ZJY-600, mechanische pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8.

Eenheid: Diffusiepomp KT-800 (Zhenhua), Wortelpomp ZJY-600, mechanische pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8.

Ultiem vacuüm: beter dan 4×10-4 Pa.

Uitgerust met anti-turbulentie apparaat, ontwerp veiligheidsvergrendeling, handmatig en automatisch optioneel.

Verwarmingssysteem

Verwarmingsmethode op verwarmingsbuis, PID-regeling, maximaal 350℃±1.5℃.

Werkende gasinflatie

Gasmassastroomregelinstrument of handmatige fijnafstelling van opblaasventiel.

Vacuüm ionisatie bombardement

gelijkstroom 3KV, 06KW staafkathode (gebruikt om het werkstuk schoon te maken voor het coaten;).

Verdampingsbron (optioneel)

1. TELEMARK-270° elektronenkanon (geïmporteerd), 6KW, hoogspanning 4KV-10KV instelbaar. Positioneringsscan:, driehoek golf scan, circulaire scan, spiraalvormige scan. Goede focus op bundelvlek, hoge positioneringsnauwkeurigheid, en goede scanreproduceerbaarheid.

2. Huishoudelijk elektronenkanon (Zhenhua): 6KW, hoogspanning 4KV (8KV instelbaar), kan driehoeksgolf kiezen;, sinus, blokgolf vrij scannen.

3. Smeltkroes: smeltkroes met zes holtes Φ38×20 of kroes met vier holtes Φ38×20 plus boogvormige smeltkroes met één holte met een booglengte in het midden van 87 (gebruikt voor een hoog verbruik van verdampingsmaterialen met een laag smeltpunt;) of vier holtes (48×18 smeltkroes).

Ionenbron (optioneel)

1. RF (Radiofrequentie) Ionenbron (geïmporteerd).

2. 5KVA Hall-ionenbron (geproduceerd door Zhenhua), gebruikt voor reiniging vóór galvaniseren of hulpbeplating in het galvaniseerproces;, wat gunstig is om de brekingsindex van de film te verbeteren;, de stevigheid, en de dichtheid en hechting van de film.

Filmdikte controlesysteem: (selectie)

1. MDC-360 kristalcontroller (geïmporteerd) kan 1,99 lagen automatisch coatingproces opslaan;, 99 soorten programmagegevens, nauwkeurigheid 0.5%+1? Vaste fout.2TELEMARK-880 kristalcontroller (importeren): kan 1,99 lagen automatisch coatingproces opslaan;, 99 soorten programmagegevens. (0.5%+1)? Vaste fout.

3. TELEMARK-820 optische controller (importeren): keurt multi-golflengte full-spectrum eindpuntanalysetechnologie goed;, en beoordeelt het einde van de film door de transmissie te analyseren (of reflectie) curve van het monitorblad 370-870 mm.Hoge regelnauwkeurigheid, enkele golflengte controle, automatische besturing en handmatige besturing kunnen ook worden gebruikt. Extra MACILEOD-filmberekeningssoftware, hoge mate van integratie.

4. TELEMARK-820 optische controller en TELEMARK-880 kristalcontroller kunnen voldoen aan de vereisten van hoge precisie en hoge herhaalbaarheidscoating. Werk samen met de hostcomputer om volledig automatische besturing te realiseren.

5. Binnenlandse optische controller (zoals 9704 bijpassende monochromator, enz.), de golflengte is instelbaar van 330 tot 870, en de nauwkeurigheid kan ±1.5nm . bereiken.

Communicator

Met magnetische basis, het kan op elke positie van de deur van de vacuümkamer en de schakelkast worden geplaatst;.

Misschien vind je het ook leuk