Welkom op onze website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrieel nieuws

» Nieuws » Industrieel nieuws

Principe van magnetron sputteren sputterdoel:

2021年8月31日

 

Principe van sputteren target magnetron sputteren:

Een orthogonaal magnetisch veld en elektrisch veld worden toegevoegd tussen het gesputterde doel (kathode) en de anode, en het benodigde inert gas (meestal Ar gas) wordt gevuld in de hoogvacuümkamer. De permanente magneet vormt 250-350 op het oppervlak van het doelmateriaal. Het Gauss-magneetveld, en het elektrische hoogspanningsveld vormt een orthogonaal elektromagnetisch veld.

Onder de actie van het elektrische veld, Ar-gas ioniseert in positieve ionen en elektronen. Er wordt een bepaalde negatieve hoogspanning op het doel toegepast. De elektronen die door het doelwit worden uitgezonden, worden beïnvloed door het magnetische veld en de ionisatiekans van het werkgas neemt toe, vorming van een plasma met hoge dichtheid nabij de kathode. Onder invloed van Lorentzkracht, Ar-ionen versnellen naar het doeloppervlak en bombarderen het doeloppervlak met hoge snelheid, zodat de uit het doel gesputterde atomen het principe van impulsomzetting volgen en met hogere kinetische energie wegvliegen van het doeloppervlak. Substraatafzetting in film.

Magnetron sputteren is over het algemeen verdeeld in twee soorten:: zijrivier sputteren en radiofrequentie sputteren. Het principe van zijsputterapparatuur is eenvoudig:, en de snelheid is ook snel bij het sputteren van metalen. Het toepassingsgebied van sputteren op radiofrequentie is uitgebreider. Naast het sputteren van geleidende materialen, niet-geleidende materialen kunnen ook worden gesputterd. Tegelijkertijd, het kan ook reactief sputteren uitvoeren om samengestelde materialen zoals oxiden te bereiden, nitriden, en carbiden..Als de frequentie van de radiofrequentie wordt verhoogd, het wordt microgolfplasma sputteren. Momenteel, elektron cyclotron resonantie (ECR) type microgolfplasma sputteren wordt vaak gebruikt..

Misschien vind je het ook leuk

  • Categorieën

  • Recent nieuws & Blog

  • Deel met een vriend

  • BEDRIJF

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantaal Niobium Metal Material Co., Ltd. is een Chinese onderneming die gespecialiseerd is in de verwerking van non-ferrometalen, wereldwijde klanten bedienen met producten van hoge kwaliteit en een perfecte after-sales service.

  • Neem contact op

    Mobiel:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com