Productie en toepassing van PVD-gecoat titanium aluminium Sputterdoelen

Traditioneel gebruikte gietmethode en poedermetallurgiemethode om doelwit van titaniumaluminiumlegering te produceren;.

De gietmethode van doelen van titanium-aluminiumlegering kan porositeit en krimp niet vermijden. Grote titanium aluminium gegoten buizen en ingots kunnen het afdichtings- en waterdichte effect niet garanderen bij het maken van het roterende buisdoel, en terwijl de buiswand wordt geëtst, de wanddikte verandert Dun, losse en krimpgaten zolang er een gat is aangesloten, de afdichting zal slechter worden, de lichtere zullen lekken, de doelbuis begint te ontladen, of een grote hoeveelheid onzuiverheid zal deelnemen aan de reactie en ervoor zorgen dat de film valt of de kleur verkeerd is..In ernstige gevallen, water wordt rechtstreeks vanuit de krimpholte naar de vacuümkamer geïnjecteerd, die de echte holte en de vacuümeenheid zal vervuilen.

Productie van poedermetallurgieprocessenTitanium aluminium doelEr is geen probleem van porositeit en krimp, maar vanuit het microscopisch oogpunt van poedermetallurgie, het is ook een poreus materiaal, dus als je wilt makenTitanium aluminium roterende buis doel, De vereisten voor materiaalcompactheid zijn zeer streng, de dichtheid moet groter zijn dan 98%, maar voldoen aan de dichtheidsvereisten betekent niet dat het kan worden gebruikt. Als het zuurstofgehalte van de titaniumaluminiumstaaf hoog is en de microstructuur onredelijk is, de interne spanning van de titanium-aluminiumstaaf is groot;, en het is gemakkelijk om in te storten, en het kan niet worden gebruikt als een roterend buisdoel. Daarom, er zijn veel vereisten voor poederproductie en deeltjesgrootteverhouding..Zelfs als aan deze voorwaarden wordt voldaan, de poedermetallurgie titanium aluminium ring moet worden vastgemaakt aan de roestvrijstalen buis of de titanium buis;. Vanwege de grote thermische uitzettingscoëfficiënt van titaniumaluminium, de lokale doeluitbreiding kan nul bereiken tijdens sputteren..5～1m, dus de traditionele methode om blokken te binden kan dit probleem niet effectief oplossen. De scheiding van titanium en aluminium bindende ingots vindt plaats, en de thermische energie van het doeloppervlak kan niet worden geleid en barst.. Echter:, de strakke bijpassende band is onbetrouwbaar, en de kwaliteit van het met plasma gespoten doelwit van titaniumaluminiumlegering is slecht..

Decoratieve coating roségoud in het horloge, sieraden, en brillenindustrieën. Kort geleden, veel vereisten bevatten geen koolstof en maken de onderliggende roze kleur verder dicht bij het gezicht roségoud.. Naar onze mening, TiCN kan niet langer aan de eisen voldoen. TiAlN is de meest perfecte oplossing. Low-end horlogesieraden hebben geen vereisten voor filmdikte en glans. De meeste van hen gebruiken boogtitanium aluminium doelen om TiAlN . af te zetten. Hoogwaardige merkhorloges vereisen een dikte van meer dan 1um en glans. Kan niet vallen. De boog wordt beïnvloed door druppels en heeft geen voordeel bij gladde en dikke filmO'KellyUit de feedback van de huidige leveringsorder blijkt dat het een betere manier is om TiAIN te deponeren met een roterende buistarget, niet alleen de kleur is dichter bij roségoud, maar de glans zal niet worden beïnvloed nadat de dikte is verhoogd..