Welkom op onze website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrieel nieuws

» Nieuws » Industrieel nieuws

Hoe sputterdoel te bereiden?

2021年10月19日

Sputterdoel verwijst naar een sputterbron die wordt gesputterd en op een substraat wordt afgezet door middel van magnetronsputteren, multi-arc ion-plating of andere soorten coatingapparatuur onder geschikte procesomstandigheden om verschillende functionele dunne films te vormen. Sputterdoelen worden veel gebruikt op veel gebieden, zoals decoratie, gereedschap, glas, elektronische apparaten, halfgeleiders, magnetische opname, plat scherm, zonnepanelen, enz. De doelmaterialen die op verschillende gebieden nodig zijn, zijn verschillend.

Voorbereiding van sputterdoel

De bereiding van sputterende doelmaterialen kan in twee categorieën worden verdeeld:: gesmolten gieten en poedermetallurgie volgens het proces;. Naast het strikt controleren van de zuiverheid,, dichtheid, korrelgrootte en kristaloriëntatie van het materiaal, de warmtebehandelingsomstandigheden en daaropvolgende verwerkingsmethoden moeten ook strikt worden gecontroleerd;. controle.

1. Poeder-Metallurgie
Bij het voorbereiden van doelen door poedermetallurgie, de sleutel ligt in: (1) het selecteren van zeer zuiver en ultrafijn poeder als grondstoffen;; (2) het selecteren van een vorm- en sintertechnologie die een snelle verdichting kan bereiken om een ​​lage porositeit van het doel te garanderen en de korrelgrootte te beheersen; (3) Het voorbereidingsproces controleert strikt de introductie van onzuiverheidselementen;.

2. Smeltgietmethode:
De smeltgietmethode is een van de basismethoden voor het maken van sputterdoelen. Om ervoor te zorgen dat het gehalte aan onzuiverheden in de staaf zo laag mogelijk is, het smelten en gieten wordt meestal onder vacuüm of beschermende atmosfeer uitgevoerd, tijdens het gietproces, het is onvermijdelijk dat er een zekere porositeit in de materiaalstructuur zit. Deze poriën zullen ervoor zorgen dat de deeltjes spatten tijdens het sputterproces, waardoor de kwaliteit van de gesputterde film wordt beïnvloed. Om deze reden:, follow-up thermische verwerking en warmtebehandelingsprocessen zijn vereist om de porositeit te verminderen.

Misschien vind je het ook leuk

  • Categorieën

  • Recent nieuws & Blog

  • Deel met een vriend

  • BEDRIJF

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantaal Niobium Metal Material Co., Ltd. is een Chinese onderneming die gespecialiseerd is in de verwerking van non-ferrometalen, wereldwijde klanten bedienen met producten van hoge kwaliteit en een perfecte after-sales service.

  • Neem contact op

    Mobiel:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com