Welkom op onze website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrieel nieuws

» Nieuws » Industrieel nieuws

Verklaar de kennis van sputteren met middenfrequente magnetron sputteren

2021年10月10日

Magnetron sputteren omvat vele soorten. Elk heeft verschillende werkingsprincipes en toepassingsobjecten. Maar er is één ding gemeen:: de interactie tussen het magnetische veld en de elektronen zorgt ervoor dat de elektronen rond het doeloppervlak draaien, waardoor de kans groter wordt dat elektronen het argongas raken om ionen te produceren. De gegenereerde ionen botsen met het doeloppervlak onder invloed van het elektrische veld om het sputterende doel te sputteren. In de afgelopen decennia van ontwikkeling, iedereen heeft geleidelijk permanente magneten aangenomen, en zelden gebruikte spoelmagneten..

Het principe van sputteren met middenfrequentie is hetzelfde als dat van algemeen DC-sputteren. Het verschil is dat DC-sputteren het vat als anode gebruikt, terwijl het sputteren van de middenfrequentie is gekoppeld. Of het vat meedoet, moet worden bepaald door het algehele ontwerp, en het hele systeem Tijdens het sputterproces, de opstelling van de anode en kathode is gerelateerd:. Er zijn veel manieren om deel te nemen aan de ratiocyclus. Verschillende methoden kunnen verschillende sputteropbrengsten en verschillende ionendichtheden verkrijgen..

De belangrijkste technologie van sputteren met middenfrequentie ligt in het ontwerp en de toepassing van de voeding. Momenteel, de meer volwassen uitvoermethoden zijn sinusgolf en pulsblokgolf. Elk heeft zijn voor- en nadelen. Eerst, houd rekening met het type filmlaag en analyseer welke vermogensoutputmethode voor welke geschikt is. Filmlaag, u kunt de kenmerken van de voeding gebruiken om het gewenste filmeffect te krijgen.

Het doel wordt gebruikt voor tussenliggende frequentiedoelen, en sommige sputterdoelen gebruiken drie paren. De doelen zijn relatief groot. Wat de tussenfrequentie betreft, de meeste werkstukken zijn bedekt met wat metaal. Dergelijke vacuümovens worden over het algemeen relatief groot gemaakt, die veel taakonderdelen kan neerleggen, en de geplateerde film is dichter..

Misschien vind je het ook leuk

  • Categorieën

  • Recent nieuws & Blog

  • Deel met een vriend

  • BEDRIJF

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantaal Niobium Metal Material Co., Ltd. is een Chinese onderneming die gespecialiseerd is in de verwerking van non-ferrometalen, wereldwijde klanten bedienen met producten van hoge kwaliteit en een perfecte after-sales service.

  • Neem contact op

    Mobiel:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com