Welkom op onze website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Nieuws

» Nieuws

Analyse van het probleem van vergiftiging en zwart worden van de doelhelft na sputteren

2021年8月31日

 

Vraag: Reactieve magnetron sputtertechnologie zet zirkoniumnitridefilm af, het doel is twee inches, het sputtergas is argon, het reactieve gas is N2, het vermogen is 300W, de radiofrequentie voeding:, de afzetting is twee uur, en het doel wordt verwijderd na de voltooiing. Kijk naar het fenomeen beschreven in de titel, of het nu gaat om doelvergiftiging of om andere redenen, maar waarom verschijnt er maar de helft??

Redenanalyse 1: Het kan verband houden met de introductie van radiofrequentievermogen

Redenanalyse 2: Zo'n klein doelwit, twee inch?Is de koeling uniform??

Redenanalyse 3: 300W-vermogen wordt toegevoegd aan zo'n klein doel, kan de koeling het volhoudenHet vermoeden bestaat dat de koeling niet goed is, waardoor de helft van de zwarte!

Redenanalyse 4: onvoldoende koeling. Is de temperatuur te hoog??

Redenanalyse 5: Het kan te maken hebben met het hoge vermogen. Ik durf alleen de kracht van het doel te vergroten met een diameter van 60 tot ongeveer 100W.

Oorzaak analyse 6: Is de stroomvoorziening stabiel in twee uurHet kan zijn dat de energie te hoog is, of het kan zijn dat de zijkant van het doel een geaard onderdeel raakt

Redenanalyse 7: Het vermoeden bestaat dat er een probleem is met de luchtdichtheid, denk persoonlijk

Oplossing 1: Suggestie 1) Controleer de gasuniformiteit:; 2) Of er aan één kant luchtlekkage is:?

Oplossing 2: Het wordt aanbevolen om een ​​XPS-analyse uit te voeren, of doe het experiment opnieuw.

Samenvatting: Op basis van de bovenstaande analyse:, de belangrijkste redenen die ervoor zorgen dat het doelwit wordt vergiftigd en zwart is een te hoge temperatuur, onstabiele voeding, gasuniformiteit en luchtdichtheid. Controleer deze mogelijke hoofdoorzaken:, en los ze stap voor stap op.

Misschien vind je het ook leuk

  • Categorieën

  • Recent nieuws & Blog

  • Deel met een vriend

  • BEDRIJF

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantaal Niobium Metal Material Co., Ltd. is een Chinese onderneming die gespecialiseerd is in de verwerking van non-ferrometalen, wereldwijde klanten bedienen met producten van hoge kwaliteit en een perfecte after-sales service.

  • Neem contact op

    Mobiel:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com