Welkom op onze website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrieel nieuws

» Nieuws » Industrieel nieuws

Voordelen van cilindrische en vlakke magnetronsputterdoelen:

2021年10月19日

Vergeleken met andere vormen van magnetron sputterdoelen, cilindrische en vlakke magnetronsputterdoelen behouden de voordelen van een goede coatinguniformiteit voor rechthoekige platte doelen;, en kan het doelmateriaal maximaliseren via de volgende twee manieren Gebruikssnelheid::

(1) Wanneer de twee groepen (vier) van de ringvormige putjes op het doeloppervlak een bepaalde diepte bereiken, de doelkern (magneet onderdeel) kan 45° worden gedraaid ten opzichte van de doelbuis, zodat de andere gebieden op de doelbuis die niet zijn gecorrodeerd, kunnen worden gebruikt

(2) Wanneer de doelkern van het cilindrische en vlakke magnetronsputterdoel is ontworpen als een roterende doelkern, (de doelkern draait tijdens het sputteren;), het oppervlak van het doelmateriaal kan laag voor laag gelijkmatig worden gesputterd;, en er zullen geen kuilen zijn. Momenteel, het doelmateriaal zal het meest effectief worden gebruikt, en de bezettingsgraad van het doelmateriaal kan bereiken: 50% tot 60%. Wanneer het doelmateriaal een materiaal van edelmetaal is, dit is ongetwijfeld van groot belang..

Door het principe van magneet en schoen in het coaxiale cilindrische magnetronsputterdoel toe te passen om het probleem van het magnetische eindveld op te lossen, het rechthoekige vlakke doel kan worden geëvolueerd tot een cilindrisch, vlak magnetron sputterdoel, die de coating van het rechthoekige vlakke doel behoudt In het geval van goede uniformiteit, de bezettingsgraad van het doelmateriaal kan worden gemaximaliseerd, waardoor de economische voordelen worden verbeterd.

Misschien vind je het ook leuk

  • Categorieën

  • Recent nieuws & Blog

  • Deel met een vriend

  • BEDRIJF

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantaal Niobium Metal Material Co., Ltd. is een Chinese onderneming die gespecialiseerd is in de verwerking van non-ferrometalen, wereldwijde klanten bedienen met producten van hoge kwaliteit en een perfecte after-sales service.

  • Neem contact op

    Mobiel:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com