ကျွန်ုပ်တို့၏ဝဘ်ဆိုဒ်မှကြိုဆိုပါသည်။
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

စက်မှုသတင်း

» သတင်း » စက်မှုသတင်း

magnetron sputtering sputtering ပစ်မှတ်၏အခြေခံမူ

2021年8月31日

 

sputtering ပစ်မှတ် magnetron sputtering ၏နိယာမ:

ပြန့်ကျဲနေသောပစ်မှတ်အကြားတွင်သံလိုက်ဓာတ်သံလိုက်စက်ကွင်းနှင့်လျှပ်စစ်စက်ကွင်းတစ်ခုထည့်ထားသည် (cathode) နှင့် anode, နှင့်လိုအပ်သော inert ဓာတ်ငွေ့ (များသောအားဖြင့် Ar gas ပါ) high vacuum chamber တွင်ဖြည့်သည်. အမြဲတမ်းသံလိုက်ပုံစံများ 250-350 ပစ်မှတ်ပစ္စည်း၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်. Gaussian သံလိုက်စက်ကွင်း, ဗို့အားမြင့်လျှပ်စစ်ကွင်းသည် orthogonal လျှပ်စစ်သံလိုက်စက်ကွင်းဖြစ်သည်.

လျှပ်စစ်နယ်ပယ်ရဲ့လုပ်ဆောင်ချက်အောက်မှာ, Ar ဓာတ်ငွေ့သည်အိုင်းယွန်းများနှင့်အီလက်ထရွန်များထဲသို့ဓာတ်ပြုသည်. အချို့သောအနုတ်လက္ခဏာမြင့်ဗို့အားပစ်မှတ်သို့သက်ရောက်သည်. ပစ်မှတ်မှထုတ်လွှတ်သောအီလက်ထရွန်များသည်သံလိုက်စက်ကွင်းနှင့်အလုပ်လုပ်ပြီးဓာတ်ငွေ့များ၏ ionization ဖြစ်နိုင်ခြေကိုထိခိုက်သည်, cathode အနီးတွင်သိပ်သည်းဆမြင့်မားသော plasma ကိုဖွဲ့စည်းသည်. Lorentz အင်အားစု၏လုပ်ဆောင်မှုအောက်တွင်ရှိသည်, Ar ions များသည်ပစ်မှတ်မျက်နှာပြင်သို့အရှိန်မြှင့ ်၍ ပစ်မှတ်မျက်နှာပြင်ကိုအရှိန်မြင့်တင်သည်, ထို့ကြောင့်အက်တမ်များသည်ပစ်မှတ်မှလွင့်ထွက်သွားသောအရှိန်အတိုင်းပြောင်းလဲသွားပြီးပိုမိုမြင့်မားသောအရွေ့စွမ်းအင်ဖြင့်ပစ်မှတ်မျက်နှာပြင်မှပျံထွက်သွားသည်။. ရုပ်ရှင်အတွက်အောက်ခံမြေသြဇာ.

Magnetron sputtering ကိုယေဘူယျအားဖြင့်နှစ်မျိုးခွဲထားသည်: မြစ်လက်တက် sputtering နှင့်ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်း sputtering. မြစ်လက်တက်ပစ္စည်းကိရိယာ၏နိယာမသည်ရိုးရှင်းပါသည်, သတ္တုများကို sputtering လုပ်သည့်အခါ၎င်း၏နှုန်းလည်းမြန်သည်။ ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်း sputtering ၏အသုံးချမှုအကွာအဝေးသည်ပိုမိုကျယ်ပြန့်သည်. sputtering လျှပ်ကူးပစ္စည်းများအပြင်, လျှပ်ကူးပစ္စည်းမဟုတ်သောအရာများကိုလည်းလွှင့်ပစ်နိုင်သည်. တစ်ချိန်တည်းမှာပဲ, ၎င်းသည်အောက်ဆိုဒ်ကဲ့သို့ဒြပ်ပေါင်းများကိုပြင်ဆင်ရန် reactive sputtering ကိုလုပ်ဆောင်နိုင်သည်, nitrides, နှင့် carbides .. ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်းကြိမ်နှုန်းတိုးလျှင်, ၎င်းသည် microwave plasma sputtering ဖြစ်လာသည်. လက်ရှိအချိန်မှာ, electron cyclotron resonance ဖြစ်သည် (ECR) type microwave plasma sputtering ကိုအသုံးများပါတယ်။.

မင်းလည်း ကြိုက်နိုင်တယ်။

  • အမျိုးအစားများ

  • လတ်တလောသတင်းများ & ဘလော့

  • သူငယ်ချင်းကိုမျှဝေပါ။

  • ကုမ္ပဏီ

    Shaanxi Zhongbei တိုက်တေနီယမ် Tantalum Niobium သတ္တုပစ္စည်း Co., Ltd မှ. သတ္တုမဟုတ်သော သတ္တုများကို အထူးပြုလုပ်ဆောင်သည့် တရုတ်လုပ်ငန်းတစ်ခုဖြစ်သည်။, အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များနှင့် ပြီးပြည့်စုံသော ရောင်းချမှု ဝန်ဆောင်မှုဖြင့် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ သုံးစွဲသူများကို ဝန်ဆောင်မှုပေးပါသည်။.

  • ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျ

    မိုဘိုင်း:86-400-660-1855
    အီးမေး:[email protected] aliyun.com
    က်:www.chn-ti.com ဖြစ်သည်