Selamat datang ke laman web kami
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Berita

» Berita

Senarai parameter teknikal mesin lapisan optik pelbagai lapisan

2021年8月31日

model
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
Saiz bilik salutan
Ф1050 × 1250, 304 keluli tahan karat.
Ф800 × 1000
Ф900 × 1050
Ф1200 × 1250
Ukuran dalaman rongga salutan
Pendakap lekapan adalah 1680mm di atas permukaan tanah, sesuai untuk ketinggian operasi ergonomik.
Pendakap lekapan adalah 1468mm di atas permukaan tanah, sesuai untuk ketinggian operasi ergonomik.
Pendakap lekapan adalah 1510mm di atas permukaan tanah, sesuai untuk ketinggian operasi ergonomik.
1.Cakera kerja tunggal melengkung, untuk bertemu pelanggan’ keperluan untuk keseragaman pada tahap yang lebih besar.Rotasi 5-30r / min, perubahan kelajuan stepless.
2.Cakera tiga benda yang melengkung, revolusi planet dan putaran, untuk memenuhi keperluan pelanggan untuk kapasiti pengeluaran sejauh mungkin.Rotasi 5-30r / min, perubahan kelajuan stepless.
Lekapan
Terdapat dalam empat keping, sudut pendakap boleh laras, untuk memenuhi keperluan pelanggan untuk keseragaman secara lebih besar.Rotasi 5-30r / min, perubahan kelajuan stepless.
Cakera kerja tunggal melengkung, untuk bertemu pelanggan’ keperluan untuk keseragaman pada tahap yang lebih besar.Rotasi 5-30r / min, perubahan kelajuan stepless.
Cakera kerja tunggal melengkung, untuk bertemu pelanggan’ keperluan untuk keseragaman pada tahap yang lebih besar.Rotasi 5-30r / min, perubahan kelajuan stepless.
Sistem vakum
Unit: pam resapan DIP-12000 (Leybold), Pam akar ZJY-300, pam mekanikal 2X-70, pam penyelenggaraan 2X-8. Saluran paip adalah 304 keluli tahan karat.
Unit: Pam Difusi KT-400 (Zhenhua), Pam akar ZJY-150, pam mekanikal 2X-70, pam penyelenggaraan 2X-8.
Unit: pam resapan KT-600 (Zhenhua), Pam akar ZJY-600, pam mekanikal 2X-70, pam penyelenggaraan 2X-8.
Unit: Pam Difusi KT-800 (Zhenhua), Pam akar ZJY-600, pam mekanikal 2X-70, pam penyelenggaraan 2X-8.
Kekosongan muktamad: lebih baik daripada 4 × 10-4 Pa.
Dilengkapi dengan alat anti-turbulensi, reka bentuk interlock keselamatan, manual dan automatik pilihan.
Sistem pemanasan
Kaedah pemanasan pada tiub pemanasan, Kawalan PID, maksimum 350 ℃ ± 1.5 ℃.
Inflasi gas yang berfungsi
Alat kawalan aliran jisim gas atau penyesuaian manual injap inflasi.
Pengeboman pengionan vakum
DC 3KV, 06Katod rod KW (digunakan untuk membersihkan benda kerja sebelum melapisi).
Sumber penyejatan (pilihan)
1. TELEMARK-senapang elektron 270 ° (diimport), 6KW, voltan tinggi 4KV-10KV laras. Imbasan kedudukan, imbasan gelombang segitiga, imbasan bulat, imbasan spiral. Pemfokusan tempat pancaran yang baik, ketepatan kedudukan tinggi, dan kebolehulangan imbasan yang baik.
2. Pistol elektron domestik (Zhenhua): 6KW, voltan tinggi 4KV ~ 8KV laras, boleh memilih gelombang segitiga, gelombang sinus, pengimbasan gelombang persegi secara bebas.
3. Keropok: enam-rongga Φ38 × 20 cawan atau empat-rongga Φ38 × 20 ditambah satu rongga berbentuk-rongga berbentuk arang dengan panjang busur tengah 87 (digunakan untuk penggunaan tinggi bahan penyejatan titik lebur rendah) atau pagar empat rongga Φ48 × 18.
Sumber ion (pilihan)
1. RF (Frekuensi radio) Sumber Ion (Diimport).
2. 5Sumber ion Dewan KVA (dihasilkan oleh Zhenhua), digunakan untuk pembersihan sebelum penyaduran atau penyaduran tambahan dalam proses penyaduran, yang bermanfaat untuk meningkatkan indeks biasan filem, ketegasan, dan ketumpatan dan lekatan filem.
Sistem kawalan ketebalan filem (pemilihan)
1. Pengawal kristal MDC-360 (diimport) dapat menyimpan 1 ~ 99 lapisan proses pelapisan automatik, 99 jenis data program, ketepatan 0.5%+1? Memperbaiki ralat.2TELEMARK-880 pengawal kristal (mengimport): dapat menyimpan 1 ~ 99 lapisan proses pelapisan automatik, 99 jenis data program. 精度 0.5% + 1? Memperbaiki ralat.
3. Pengawal optik TELEMARK-820 (mengimport): mengguna pakai teknologi analisis titik akhir spektrum penuh multi-gelombang, dan menilai akhir filem dengan menganalisis transmisi (atau pantulan) keluk lembaran monitor 370-870 mm.Ketepatan kawalan tinggi, kawalan panjang gelombang tunggal, kawalan automatik dan kawalan manual juga boleh digunakan. Perisian pengiraan filem MACILEOD tambahan, tahap integrasi yang tinggi.
4. Pengawal optik TELEMARK-820 dan pengawal kristal TELEMARK-880 dapat memenuhi keperluan salutan berketepatan tinggi dan kebolehulangan tinggi. Bekerjasama dengan komputer hos untuk mewujudkan kawalan automatik sepenuhnya.
5. Pengawal optik domestik (seperti 9704 monokromator sepadan, dan lain-lain.), panjang gelombang boleh laras dari 330 ke 870, dan ketepatannya boleh mencapai ± 1.5nm.
Komunikator
Dengan asas magnet, ia boleh diletakkan di mana-mana kedudukan pintu ruang vakum dan kabinet kawalan.

Mungkin anda suka juga

  • Kategori

  • Berita terkini & Blog

  • Kongsi kepada rakan

  • SYARIKAT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. adalah syarikat China yang mengkhususkan diri dalam pemprosesan logam bukan ferus, melayani pelanggan global dengan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi Kami

    Mudah alih:86-400-660-1855
    E-mel:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com