Selamat datang ke laman web kami
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Berita industri

» Berita » Berita industri

Prinsip sasaran sputtering magnetron sputtering

2021年8月31日

 

Prinsip sputtering magnetron sputtering:

Medan magnet ortogonal dan medan elektrik ditambahkan antara sasaran sputtered (katod) dan anod, dan gas lengai yang diperlukan (biasanya gas Ar) diisi di ruang vakum tinggi. Magnet kekal terbentuk 250-350 di permukaan bahan sasaran. Medan magnet Gaussian, dan medan elektrik voltan tinggi membentuk medan elektromagnetik ortogonal.

Di bawah tindakan medan elektrik, Gas Ar mengion menjadi ion positif dan elektron. Voltan tinggi negatif tertentu dikenakan pada sasaran. Elektron yang dipancarkan dari sasaran dipengaruhi oleh medan magnet dan kebarangkalian pengionan gas berfungsi meningkat, membentuk plasma berkepadatan tinggi berhampiran katod. Di bawah tindakan pasukan Lorentz, Arion memecut ke permukaan sasaran dan mengebom permukaan sasaran dengan kelajuan tinggi, supaya atom yang keluar dari sasaran mengikuti prinsip penukaran momentum dan terbang dari permukaan sasaran dengan tenaga kinetik yang lebih tinggi. Pemendapan substrat ke dalam filem.

Magnetron sputtering umumnya terbahagi kepada dua jenis: sputtering anak sungai dan sputtering frekuensi radio. Prinsip peralatan sputtering anak sungai adalah mudah, dan kadarnya juga cepat ketika mengeluarkan logam..Rentang aplikasi sputtering frekuensi radio lebih luas. Di samping memancutkan bahan konduktif, bahan bukan konduktif juga boleh dihamburkan. Pada masa yang sama, ia juga dapat melakukan sputtering reaktif untuk menyediakan bahan sebatian seperti oksida, nitrida, dan karbida..Jika frekuensi frekuensi radio dinaikkan, ia menjadi gelombang mikro plasma. Pada masa ini, resonans siklotron elektron (ECR) sputtering gelombang mikro jenis biasa digunakan..

Mungkin anda suka juga

  • Kategori

  • Berita terkini & Blog

  • Kongsi kepada rakan

  • SYARIKAT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. adalah syarikat China yang mengkhususkan diri dalam pemprosesan logam bukan ferus, melayani pelanggan global dengan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi Kami

    Mudah alih:86-400-660-1855
    E-mel:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com