Selamat datang ke laman web kami
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Berita industri

» Berita » Berita industri

Cara menyediakan sasaran sputtering

2021年10月19日

Sasaran sputtering merujuk kepada sumber sputtering yang tersebar dan disimpan pada substrat oleh magnetron sputtering, penyaduran ion pelbagai arka atau jenis peralatan pelapis lain dalam keadaan proses yang sesuai untuk membentuk pelbagai filem nipis yang berfungsi. Sasaran pemutaran digunakan secara meluas dalam banyak bidang seperti hiasan, perkakas, gelas, alat elektronik, semikonduktor, rakaman magnet, paparan rata, sel suria, dan lain-lain. Bahan sasaran yang diperlukan dalam bidang yang berbeza adalah berbeza.

Penyediaan sasaran sputtering

Penyediaan bahan sasaran sputtering dapat dibahagikan kepada dua kategori: peleburan lebur dan metalurgi serbuk mengikut prosesnya. Selain mengawal kesucian dengan ketat, ketumpatan, ukuran butiran dan orientasi kristal bahan, keadaan rawatan haba dan kaedah pemprosesan seterusnya juga perlu dikawal dengan ketat. kawalan.

1. Metalurgi serbuk
Semasa menyediakan sasaran dengan metalurgi serbuk, kunci terletak pada: (1) memilih serbuk ketulenan tinggi dan ultra halus sebagai bahan mentah; (2) memilih teknologi pembentuk dan pensinteran yang dapat mencapai pemadatan yang cepat untuk memastikan keliangan sasaran yang rendah dan mengawal ukuran butiran; (3) Proses penyediaan secara ketat mengawal pengenalan unsur-unsur kekotoran.

2. Kaedah pemutus lebur
Kaedah melting casting adalah salah satu kaedah asas untuk membuat sasaran sputtering. Untuk memastikan bahawa kandungan unsur pengotor dalam jongkong serendah mungkin, peleburan dan pemutusnya biasanya dilakukan dalam keadaan vakum atau pelindung. Walau bagaimanapun, semasa proses lakonan, tidak dapat dielakkan bahawa terdapat keliangan tertentu di dalam struktur bahan. Pori-pori ini akan menyebabkan zarah-zarah itu memercik semasa proses sputtering, sekali gus mempengaruhi kualiti filem sputtered..Dengan sebab ini, proses pemprosesan terma susulan dan rawatan haba diperlukan untuk mengurangkan keliangannya.

Mungkin anda suka juga

  • Kategori

  • Berita terkini & Blog

  • Kongsi kepada rakan

  • SYARIKAT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. adalah syarikat China yang mengkhususkan diri dalam pemprosesan logam bukan ferus, melayani pelanggan global dengan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi Kami

    Mudah alih:86-400-660-1855
    E-mel:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com