Selamat datang ke laman web kami
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Berita industri

» Berita » Berita industri

Bagaimana ketumpatan dan keliangan relatif bahan sasaran mempengaruhi kualiti lapisan ??

2021年10月10日

Ketumpatan relatif sasaran adalah nisbah ketumpatan sebenar sasaran dengan ketumpatan teori. Ketumpatan teori sasaran komponen tunggal adalah ketumpatan kristal. Ketumpatan teori paduan atau campuran campuran ditentukan oleh ketumpatan teori setiap komponen dan komposisinya dalam aloi atau campuran. Dikira dengan peratusan. Struktur sasaran penyemburan haba longgar dan berliang, dan kandungan oksigen tinggi (walaupun penyemburan vakum, sukar untuk mengelakkan pengeluaran oksida dan nitrida dalam sasaran aloi), permukaannya berwarna kelabu, kekurangan kilauan logam, dan kotoran dan kelembapan yang terserap adalah faktor utama. Punca pencemaran menghalang perolehan vakum tinggi yang cepat, mudah membawa kepada pembuangan semasa proses sputtering, malah membakar bahan sasaran.

Pada masa yang sama, suhu tinggi seketika permukaan sputtering sasaran dengan mudah akan menyebabkan zarah-zarah longgar jatuh, mencemarkan permukaan kaca, dan mempengaruhi kualiti lapisan..Ada peraturan yang jelas untuk pelepasan titik permukaan kaca bersalut. Semakin tinggi ketumpatan relatif, semakin cepat kadar pembentukan filem dan semakin stabil proses sputtering..Mengikut perbezaan proses penyediaan bahan sasaran, ketumpatan relatif sasaran peleburan peleburan harus dijamin berada di atas 98%, dan sasaran metalurgi serbuk harus dijamin berada di atas 97% untuk kegunaan pengeluaran..Oleh itu, adalah perlu untuk mengawal ketumpatan bahan sasaran dengan ketat untuk mengurangkan kejadian penurunan terak..Bahan sasaran penyemburan mempunyai kepadatan rendah dan kos penyediaan yang rendah. Apabila ketumpatan relatif dapat menjamin lebih dari 90%, secara amnya tidak mempengaruhi penggunaannya. Pada masa ini, sasaran SiA1 yang digunakan di China adalah semua sasaran penyemburan..

Selain kepadatan, sekiranya bahan sasaran tidak normal semasa proses pengeluaran, seperti zarah-zarah besar jatuh atau mengecilkan lubang ketika dipanaskan, lebih banyak liang (kecacatan dalaman) akan terbentuk, dan bahagian dalam bahan sasaran akan kelihatan lebih besar (sasaran lebur>2mm, sasaran penyemburan> 0.5mm) atau lubang yang lebih padat akan keluar kerana kepekatan cas, yang akan mempengaruhi penggunaan.Target dengan ketumpatan rendah dan liang rawan terdedah pada pemprosesan berikutnya, pengendalian atau pemasangan. Bahan sasaran dengan ketumpatan relatif tinggi dan beberapa liang mempunyai kekonduksian terma yang baik, dan haba pada permukaan bahan sasaran sputtering dengan mudah dan cepat dipindahkan ke permukaan dalaman bahan sasaran atau air penyejuk di pelapik, dan pelesapan haba adalah baik, sekali gus memastikan kestabilan proses pembentukan filem.

Mungkin anda suka juga

  • Kategori

  • Berita terkini & Blog

  • Kongsi kepada rakan

  • SYARIKAT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. adalah syarikat China yang mengkhususkan diri dalam pemprosesan logam bukan ferus, melayani pelanggan global dengan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi Kami

    Mudah alih:86-400-660-1855
    E-mel:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com