Selamat datang ke laman web kami
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Berita industri

» Berita » Berita industri

Terangkan pengetahuan mengenai sputtering spektring magnetron frekuensi sederhana sputtering

2021年10月10日

Magnetron sputtering merangkumi banyak jenis. Masing-masing mempunyai prinsip kerja dan objek aplikasi yang berbeza. Tetapi ada satu persamaan: interaksi antara medan magnet dan elektron menjadikan elektron berpusing di sekitar permukaan sasaran, dengan itu meningkatkan kebarangkalian elektron memukul gas argon untuk menghasilkan ion.. ion yang dihasilkan bertembung dengan permukaan sasaran di bawah tindakan medan elektrik untuk memacu sasaran sputtering. Dalam beberapa dekad terakhir pembangunan, setiap orang secara beransur-ansur menggunakan magnet kekal, dan magnet gegelung yang jarang digunakan..

Prinsip sputtering frekuensi pertengahan adalah sama dengan sputtering DC umum. Perbezaannya ialah pemancaran DC menggunakan tong sebagai anod, sementara sputtering frekuensi menengah dipasangkan. Adakah laras mengambil bahagian mesti ditentukan oleh keseluruhan reka bentuk, dan keseluruhan sistem Semasa proses sputtering, susunan anod dan katod adalah berkaitan. Terdapat banyak cara untuk mengambil bahagian dalam kitaran nisbah. Kaedah yang berbeza dapat memperoleh hasil sputtering yang berbeza dan ketumpatan ion yang berbeza..

Teknologi utama sputtering frekuensi pertengahan terletak pada reka bentuk dan aplikasi bekalan kuasa. Pada masa ini, kaedah output yang lebih matang adalah gelombang sinus dan gelombang persegi nadi. Masing-masing mempunyai kelebihan dan kekurangan. Pertama, pertimbangkan jenis lapisan filem dan analisa kaedah output daya yang mana sesuai. Lapisan filem, anda boleh menggunakan ciri bekalan kuasa untuk mendapatkan kesan filem yang diingini.

Sasaran digunakan untuk sasaran frekuensi pertengahan, dan beberapa sasaran sputtering menggunakan tiga pasang. Sasarannya agak besar. Setakat frekuensi perantaraan, sebahagian besar bahan kerja dilapisi dengan beberapa logam..Tungku vakum seperti itu biasanya dibuat agak besar, yang boleh meletakkan banyak bahagian tugas, dan filem bersalut lebih padat..

Mungkin anda suka juga

  • Kategori

  • Berita terkini & Blog

  • Kongsi kepada rakan

  • SYARIKAT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. adalah syarikat China yang mengkhususkan diri dalam pemprosesan logam bukan ferus, melayani pelanggan global dengan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi Kami

    Mudah alih:86-400-660-1855
    E-mel:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com