Selamat datang ke laman web kami
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Berita

» Berita

Analisis masalah keracunan dan penghitaman sasaran separuh selepas sputtering

2021年8月31日

 

Soalan: Teknologi sputtering magnetron reaktif mendeposit filem zirkonium nitrida, sasarannya adalah dua inci, gas sputtering adalah argon, gas reaktif ialah N2, kuasa ialah 300W, bekalan kuasa frekuensi radio, pemendapan adalah dua jam, dan sasarannya dikeluarkan setelah selesai. Lihat fenomena yang dijelaskan dalam tajuk, sama ada keracunan sasaran atau sebab lain, tetapi mengapa hanya separuh daripadanya muncul?

Analisis sebab 1: Ini mungkin berkaitan dengan pengenalan daya frekuensi radio

Analisis sebab 2: Sasaran kecil itu, dua inci?Adakah penyejuk seragam?

Analisis sebab 3: 300Kuasa W ditambahkan pada sasaran kecil seperti itu, bolehkah penyejukan berterusan, menyebabkan separuh daripada hitam!

Analisis sebab 4: penyejukan tidak mencukupi. Adakah suhu terlalu tinggi?

Analisis sebab 5: Ia mungkin berkaitan dengan kekuatan tinggi. Saya hanya berani meningkatkan kekuatan sasaran dengan diameter 60 hingga lebih kurang 100W.

Analisis sebab 6: Adakah bekalan kuasa stabil dalam dua jam Mungkin tenaga terlalu tinggi, atau mungkin bahagian sasaran menyentuh komponen yang dibumikan

Analisis sebab 7: Diduga ada masalah dengan kedap udara, berfikir secara peribadi

Penyelesaian 1: Cadangan 1) Periksa keseragaman gas; 2) Sama ada terdapat kebocoran udara di satu pihak?

Penyelesaian 2: Dianjurkan untuk melakukan analisis XPS, atau lakukan eksperimen sekali lagi.

Ringkasan: Berdasarkan analisis di atas, sebab utama yang menyebabkan sasaran diracuni dan hitam adalah suhu yang terlalu tinggi, bekalan kuasa yang tidak stabil, keseragaman gas dan kedap udara. Periksa kemungkinan penyebab utama ini, dan atasi masalah mereka selangkah demi selangkah.

Mungkin anda suka juga

  • Kategori

  • Berita terkini & Blog

  • Kongsi kepada rakan

  • SYARIKAT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. adalah syarikat China yang mengkhususkan diri dalam pemprosesan logam bukan ferus, melayani pelanggan global dengan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi Kami

    Mudah alih:86-400-660-1855
    E-mel:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com