Selamat datang ke laman web kami
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Berita industri

» Berita » Berita industri

Kelebihan sasaran sputtering magnetron silinder dan satah

2021年10月19日

Berbanding dengan bentuk magnetter sputtering yang lain, sasaran sputtering magnetron silinder dan satah mengekalkan kelebihan keseragaman lapisan yang baik untuk sasaran rata segi empat tepat, dan dapat memaksimumkan bahan sasaran melalui dua kaedah berikut:

(1) Apabila kedua-dua kumpulan itu (empat) lubang berbentuk cincin di permukaan sasaran mencapai kedalaman tertentu, teras sasaran (bahagian magnet) boleh dipusingkan 45 ° berbanding tiub sasaran, supaya kawasan lain pada tiub sasaran yang belum terhakis dapat dimanfaatkan

(2) Apabila inti sasaran sputtering magnetron silinder dan satah dirancang sebagai teras sasaran berputar, (inti sasaran berputar semasa sputtering), permukaan bahan sasaran dapat disebar secara merata demi lapisan, dan Tidak akan ada lubang. Pada masa ini, bahan sasaran akan digunakan dengan paling berkesan, dan kadar penggunaan bahan sasaran dapat dicapai 50% ke 60%. Apabila bahan sasaran adalah bahan logam berharga, ini pasti sangat penting..

Dengan mengadopsi prinsip magnet dan kasut dalam sasaran spontan magnetron silinder sepaksi untuk menyelesaikan masalah medan magnet akhir, sasaran satah segi empat tepat dapat berkembang menjadi silinder, sasaran pemancaran magnetron satah, yang mengekalkan lapisan sasaran segi empat tepat dalam hal keseragaman yang baik, kadar penggunaan bahan sasaran dapat dimaksimumkan, sekali gus meningkatkan faedah ekonomi.

Mungkin anda suka juga

  • Kategori

  • Berita terkini & Blog

  • Kongsi kepada rakan

  • SYARIKAT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. adalah syarikat China yang mengkhususkan diri dalam pemprosesan logam bukan ferus, melayani pelanggan global dengan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan purna jual yang sempurna.

  • Hubungi Kami

    Mudah alih:86-400-660-1855
    E-mel:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com