आमच्या वेबसाइटवर स्वागत आहे
0086-18429179711 27898790aliyun.com

औद्योगिक बातम्या

» बातम्या » औद्योगिक बातम्या

Sputtering लक्ष्य मॅग्नेट्रॉन sputtering तत्त्व

2021年8月31日

 

मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग तत्त्व: ऑर्थोगोनल चुंबकीय क्षेत्र आणि स्पुटर्ड लक्ष्य दरम्यान विद्युत क्षेत्र जोडा (कॅथोड) आणि एनोड, आणि स्पटरिंग लक्ष्य आवश्यक अक्रिय वायूने ​​भरलेले आहे (सामान्यतः एआर गॅस) उच्च व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये. कायमचे चुंबक अ 250-350 लक्ष्य सामग्रीच्या पृष्ठभागावर गॉस चुंबकीय क्षेत्र, आणि उच्च-व्होल्टेज इलेक्ट्रिक फील्डसह ऑर्थोगोनल इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक फील्ड तयार करते..

विद्युत क्षेत्राच्या कृती अंतर्गत, अर गॅस सकारात्मक आयन आणि इलेक्ट्रॉन मध्ये आयनित करते. विशिष्ट नकारात्मक उच्च व्होल्टेज लक्ष्यावर लागू केले जाते. लक्ष्यातून बाहेर पडणारे इलेक्ट्रॉन चुंबकीय क्षेत्रामुळे प्रभावित होतात आणि कार्यरत गॅसची आयनीकरण शक्यता वाढते, कॅथोड जवळ उच्च घनतेचा प्लाझ्मा तयार करणे. लॉरेन्ट्झ फोर्सच्या कृती अंतर्गत, एर आयन लक्ष्यित पृष्ठभागावर गती वाढवतात आणि लक्ष्य पृष्ठभागावर उच्च वेगाने बॉम्बफेक करतात, जेणेकरून लक्ष्यातून बाहेर पडलेले अणू गती रूपांतरणाच्या तत्त्वाचे पालन करतात आणि उच्च गतिज ऊर्जा असलेल्या लक्ष्य पृष्ठभागापासून दूर जातात. चित्रपटात सबस्ट्रेट जमा करणे. मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग साधारणपणे दोन प्रकारांमध्ये विभागले जाते: डीसी स्पटरिंग आणि रेडिओ फ्रिक्वेन्सी स्पटरिंग. डीसी स्पटरिंग उपकरणांचे तत्त्व सोपे आहे. धातू sputtering तेव्हा, त्याचा दर देखील वेगवान आहे..

रेडिओ फ्रिक्वेन्सी स्पटरिंगची अनुप्रयोग श्रेणी अधिक विस्तृत आहे. वाहक साहित्य sputtering व्यतिरिक्त, गैर-प्रवाहकीय साहित्य देखील sputtered जाऊ शकते. त्याच वेळी, हे ऑक्साईड सारख्या कंपाऊंड मटेरियल तयार करण्यासाठी प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग देखील करू शकते, नायट्राइड, आणि कार्बाइड्स .. जेव्हा स्पटरिंग लक्ष्याच्या रेडिओ फ्रिक्वेन्सीची वारंवारता वाढते, ते मायक्रोवेव्ह प्लाझ्मा स्पटरिंग बनते. सध्या, इलेक्ट्रॉन सायक्लोट्रॉन अनुनाद (ईसीआर) प्रकार मायक्रोवेव्ह प्लाझ्मा स्पटरिंग सामान्यतः वापरला जातो..

कदाचित तुम्हालाही आवडेल

  • श्रेण्या

  • ताज्या बातम्या & ब्लॉग

  • मित्राला शेअर करा

  • कंपनी

    शानक्सी झोंगबेई टायटॅनियम टँटलम निओबियम मेटल मटेरियल कं., लि. नॉन-फेरस धातूंच्या प्रक्रियेत विशेषज्ञ असलेला एक चीनी उद्योग आहे, जागतिक ग्राहकांना उच्च दर्जाची उत्पादने आणि परिपूर्ण विक्रीनंतरची सेवा.

  • आमच्याशी संपर्क साधा

    मोबाईल:86-400-660-1855
    ई-मेल:27898790aliyun.com
    वेब:www.chn-ti.com