Welcome to our website
0086-18429179711 27898790aliyun.com

Industrial news

» News » Industrial news

स्पटरिंगचा प्रभाव मोठ्या क्षेत्रातील कोटिंग उत्पादनावर शुद्धता आणि भौतिक एकरूपता लक्ष्यित करतो

2021年10月10日

लक्ष्य सामग्रीच्या लेपच्या संपादकाचा आधी उल्लेख केला गेला आहे, sputtering प्रक्रियेत, लक्ष्य सामग्रीची गुणवत्ता पारंपारिक साहित्य उद्योगापेक्षा जास्त आहे..या लेखात, संपादक मोठ्या क्षेत्राच्या कोटिंगवर लक्ष्य सामग्रीची शुद्धता आणि भौतिक एकरूपतेचा प्रभाव सादर करणे सुरू ठेवेल. या आणि त्याबद्दल जाणून घ्या

स्पटरिंग लक्ष्य सामग्रीच्या शुद्धतेचा लेप असलेल्या चित्रपटाच्या कामगिरीवर जास्त परिणाम होतो. जेव्हा स्वच्छ ग्लास उच्च-व्हॅक्यूम कोटिंग चेंबरमध्ये प्रवेश करतो, लक्ष्यित सामग्रीची शुद्धता पुरेशी नसल्यास, लक्ष्यित सामग्रीमधील अशुद्धता कण इलेक्ट्रिक फील्ड आणि चुंबकीय क्षेत्राच्या क्रियेखाली स्पटरिंग प्रक्रियेदरम्यान काचेच्या पृष्ठभागाला चिकटून राहतील.. वेगळे होण्याची घटना घट्टपणे दिसून येते, लक्ष्याची शुद्धता जितकी जास्त, जमा केलेल्या चित्रपटाचे प्रदर्शन अधिक चांगले.

खराब थर्मल चालकता असलेल्या लक्ष्यांसाठी, जसे SiA1 लक्ष्य, लक्ष्य मध्ये अशुद्धतेची उपस्थिती अनेकदा उष्णता हस्तांतरण अवरोधित करते, किंवा उत्पादनात वापरल्या जाणाऱ्या थंड पाण्याचे तापमान आणि प्रत्यक्ष कोटिंग लाईन पाण्याचे तापमान यातील फरक, इ., वापरादरम्यान लक्ष्य क्रॅक होण्यास कारणीभूत ठरते. किरकोळ क्रॅकचा कोटिंगच्या उत्पादनावर फारसा परिणाम होणार नाही, जेव्हा लक्ष्य सामग्रीमध्ये स्पष्ट क्रॅक असतात, क्रॅक भागाच्या काठावर चार्ज करणे खूप सोपे आहे, ज्यामुळे लक्ष्य पृष्ठभागावर असामान्य स्त्राव होईल .. डिस्चार्जच्या घटनेमुळे स्लॅग ड्रॉप होईल, असामान्य चित्रपट निर्मिती, आणि वाढलेले उत्पादन स्क्रॅप.त्यामुळे, लक्ष्य तयार करण्याच्या प्रक्रियेत, शुद्धता नियंत्रित करण्याव्यतिरिक्त, तयारी प्रक्रियेच्या अटी देखील नियंत्रित केल्या पाहिजेत.

धातूंचे मिश्रण लक्ष्य साठी, असमान सामग्री वितरण अनेकदा होते, जसे की SiAl लक्ष्य मध्ये अॅल्युमिनियम एकत्रीकरण, झिंक-अॅल्युमिनियमच्या टार्गेटमध्ये अॅल्युमिनियमचे पृथक्करण (अॅल्युमिनियमचे अणू वस्तुमान आहे 27 जस्त च्या अणू वस्तुमान पेक्षा कमी 65, आणि ओतल्यानंतर शीतकरण प्रक्रियेदरम्यान अॅल्युमिनियम थंड केले जाते. वर तरंगेल, एका बाजूला उच्च अॅल्युमिनियम सामग्री आणि एका बाजूला कमी).कमी वितळण्याच्या बिंदूमुळे, SiA1 टार्गेटमधील एकत्रित अल स्पटरिंग फिल्म निर्मिती प्रक्रियेदरम्यान ड्रॉस होण्याची शक्यता असते, आणि फवारणी प्रक्रियेदरम्यान जोडलेल्या ए 1 चे प्रमाण निश्चित आहे. जेव्हा एकत्रिततेचा भाग होतो, हे सूचित करते की इतर ठिकाणी अॅल्युमिनियमचे प्रमाण कमी आहे, जे SiA1 लक्ष्यावर परिणाम करते. चित्रपटाची थर्मल चालकता आणि विद्युत चालकता, परिणामी विसंगत sputtering दर, खराब चित्रपट एकसमानता, लक्ष्यित साहित्याचा क्रॅकिंग, टार्गेट डिस्चार्जची घटना वाढवणे, आणि चित्रपट निर्मितीची गुणवत्ता कमी करणे. लक्ष्य घटकांचे पृथक्करण स्पटरिंग रेटवर परिणाम करेल (चित्रपट एकरूपता) आणि चित्रपट रचना. म्हणून, लक्ष्यित सामग्रीची शुद्धता नियंत्रित करण्याव्यतिरिक्त, धातूंचे मिश्रण लक्ष्य मध्ये साहित्य वितरण देखील खूप महत्वाचे आहे.

Maybe you like also

  • Categories

  • Recent News & Blog

  • Share to friend

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., लि. is a Chinese enterprise specializing in the processing of non-ferrous metals, serving global customers with high quality products and perfect after-sales service.

  • आमच्याशी संपर्क साधा

    मोबाईल:86-400-660-1855
    E-mail:27898790aliyun.com
    वेब:www.chn-ti.com