पीव्हीडी-लेपित टायटॅनियम अॅल्युमिनियम स्पटरिंग लक्ष्यांचे उत्पादन आणि अनुप्रयोग

पारंपारिकपणे टायटॅनियम अॅल्युमिनियम मिश्र धातुचे लक्ष्य तयार करण्यासाठी कास्टिंग पद्धत आणि पावडर धातूशास्त्र पद्धत वापरली जाते.

टायटॅनियम अॅल्युमिनियम मिश्रधातूच्या कास्टिंग पद्धतीमुळे छिद्र आणि संकोचन टाळता येत नाही. मोठ्या आकाराच्या टायटॅनियम अॅल्युमिनियम कास्ट पाईप्स आणि इनगॉट्स रोटिंग ट्यूब लक्ष्य बनवताना सीलिंग आणि वॉटरप्रूफ प्रभावाची हमी देऊ शकत नाहीत, आणि ट्यूबची भिंत कोरलेली आहे, भिंतीची जाडी पातळ बदलते, जोपर्यंत एक छिद्र जोडलेले आहे तोपर्यंत सैल आणि संकुचित होल, सीलिंग अधिक वाईट होईल, फिकट गळतील, टार्गेट ट्यूब डिस्चार्ज होण्यास सुरवात होईल, किंवा मोठ्या प्रमाणात अशुद्धता प्रतिक्रियेत सहभागी होईल आणि चित्रपट पडेल किंवा रंग चुकीचा असेल .. गंभीर प्रकरणांमध्ये, पाणी थेट संकोचन पोकळीमधून व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये इंजेक्ट केले जाते, जे वास्तविक पोकळी आणि व्हॅक्यूम युनिट दूषित करेल.

पावडर धातू प्रक्रिया उत्पादनटायटॅनियम अॅल्युमिनियम लक्ष्यसच्छिद्रता आणि संकोचन कोणतीही समस्या नाही, पण पावडर धातूशास्त्राच्या सूक्ष्म दृष्टिकोनातून, हे एक सच्छिद्र साहित्य देखील आहे, म्हणून आपण बनवू इच्छित असल्यासटायटॅनियम अॅल्युमिनियम फिरवणारे ट्यूब लक्ष्य, मटेरियल कॉम्पॅक्टनेससाठी आवश्यकता खूप कठोर आहेत, पेक्षा जास्त घनता असणे आवश्यक आहे 98%, परंतु घनतेच्या गरजा पूर्ण केल्याचा अर्थ असा नाही की त्याचा वापर केला जाऊ शकतो., टायटॅनियम अॅल्युमिनियम इनगॉटचा अंतर्गत ताण मोठा आहे, आणि कोसळणे सोपे आहे, आणि ते फिरवणारे नळीचे लक्ष्य म्हणून वापरले जाऊ शकत नाही. म्हणून, पावडर उत्पादन आणि कण आकाराचे गुणोत्तर यासाठी अनेक आवश्यकता आहेत .. जरी या अटी पूर्ण झाल्या, पावडर धातूशास्त्र टायटॅनियम अॅल्युमिनियम रिंगला स्टेनलेस स्टील ट्यूब किंवा टायटॅनियम ट्यूबला बांधणे आवश्यक आहे. टायटॅनियम अॅल्युमिनियमच्या मोठ्या थर्मल विस्तार गुणांकामुळे, स्थानिक लक्ष्य विस्तार sputtering दरम्यान शून्य पोहोचू शकते..5 ～ 1 मी, त्यामुळे पिंड बांधण्याची पारंपारिक पद्धत ही समस्या प्रभावीपणे सोडवू शकत नाही. टायटॅनियम आणि अॅल्युमिनियम बंधनकारक पिंडांचे पृथक्करण होते, आणि लक्ष्य पृष्ठभागाची औष्णिक ऊर्जा आयोजित केली जाऊ शकत नाही आणि फोडली जाते .. तरीही, घट्ट जुळणारे बंधन अविश्वसनीय आहे, आणि प्लाझ्मा फवारलेल्या टायटॅनियम अॅल्युमिनियम मिश्रधातूची गुणवत्ता खराब आहे..

सजावटीचा लेप घड्याळात गुलाबाचे सोने, दागिने, आणि चष्मा उद्योग. अलीकडे, बर्‍याच आवश्यकतांमध्ये कार्बन नसतो आणि पुढे गुलाबाचा रंग चेहऱ्याच्या जवळ गुलाब सोने बनवतो..आपल्या मते, TiCN यापुढे आवश्यकता पूर्ण करू शकत नाही. TiAlN हा सर्वात परिपूर्ण उपाय आहे. लो-एंड वॉच दागिन्यांना फिल्म जाडी आणि तकाकीची आवश्यकता नाही. त्यापैकी बहुतेक TiAlN जमा करण्यासाठी चाप टायटॅनियम अॅल्युमिनियम लक्ष्य वापरतात. हाय-एंड ब्रँड घड्याळांना 1um पेक्षा अधिक जाडी आणि तकाकी आवश्यक आहे. सोडू शकत नाही. चाप थेंबांनी प्रभावित होतो आणि गुळगुळीत आणि जाड चित्रपटात त्याचा फायदा नाहीओ'केलीवर्तमान पुरवठा ऑर्डरच्या अभिप्रायावरून हे पाहिले जाऊ शकते की एक चांगला मार्ग म्हणजे फिरत्या नलिका लक्ष्यासह TiAIN जमा करणे., केवळ गुलाब सोन्याचा रंग जवळ नाही, परंतु जाडी वाढल्यानंतर चमक चमकणार नाही..