Манай вэбсайтад тавтай морилно уу
Хөх0086-18429179711 Хөх[email protected] aliyun.com

Аж үйлдвэрийн мэдээ

» Мэдээ » Аж үйлдвэрийн мэдээ

Зорилтот магнетрон цацах зарчим

2021年8月31日

 

Магнетрон цацах зарчим: ортогональ соронзон орон ба цахилгаан талбарыг цацсан зорилтын хооронд нэмнэ (катод) ба анод, мөн цацах бай нь шаардлагатай инертийн хийээр дүүрсэн байна (ихэвчлэн Ar хий) өндөр вакуум камерт. Байнгын соронз нь a хэлбэрийг үүсгэдэг 250-350 Зорилтот материалын гадаргуу дээрх Гауссын соронзон орон, ба өндөр хүчдэлийн цахилгаан оронтой тэгш өнцөгт цахилгаан соронзон орон үүсгэдэг..

Цахилгаан талбайн үйл ажиллагааны дор, Ар хий нь эерэг ион ба электрон руу ионждог. Тодорхой сөрөг өндөр хүчдэлийг зорилтот хэсэгт хэрэглэнэ. Зорилтот газраас ялгарч буй электронууд соронзон орны нөлөөлөлд өртөж, ажлын хийн иончлолын магадлал нэмэгддэг, катодын ойролцоо өндөр нягтралтай плазм үүсгэдэг. Лоренцын хүчний нөлөөн дор, Ар ионууд зорилтот гадаргуу руу хурдасгаж, зорилтот гадаргууг өндөр хурдтайгаар бөмбөгдөнө, Тиймээс зорилтот газраас гарч буй атомууд импульс хувиргах зарчмыг баримталж, кинетик энерги өндөртэй зорилтот гадаргуугаас зугтдаг.. Субстратыг хальс руу оруулах. Magnetron sputtering нь ерөнхийдөө хоёр төрөлд хуваагддаг: DC цацалт ба радио давтамж цацах. DC цацах төхөөрөмжийн зарчим нь энгийн. Метал цацах үед, түүний ханш бас хурдан..

Радио давтамж цацах хэрэглээний хүрээ илүү өргөн байна. Цахилгаан дамжуулах материал цацахаас гадна, дамжуулагч бус материалыг мөн цацаж болно. Үүний зэрэгцээ, Энэ нь исэл гэх мэт холимог материалыг бэлтгэхийн тулд реактив цацалт хийж болно, нитрид, ба карбидууд .. Цацах объектын радио давтамжийн давтамж нэмэгдэх үед, энэ нь богино долгионы плазмын цацалт болдог. Одоогийн байдлаар, электрон циклотрон резонанс (ECR) Богино долгионы плазмын цацалтыг ихэвчлэн ашигладаг..

Магадгүй та ч бас дуртай байх

  • Ангилал

  • Сүүлийн үеийн мэдээ & Блог

  • Найздаа хуваалцаарай

  • КОМПАНИ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ХХК. нь өнгөт металл боловсруулах чиглэлээр мэргэшсэн Хятадын аж ахуйн нэгж юм, өндөр чанартай бүтээгдэхүүн, борлуулалтын дараах төгс үйлчилгээгээр дэлхийн хэрэглэгчдэд үйлчлэх.

  • Бидэнтэй холбоо бариарай

    Гар утас:86-400-660-1855
    Имэйл:[email protected] aliyun.com
    Вэб:www.chn-ti.com