Манай вэбсайтад тавтай морилно уу
Хөх0086-18429179711 Хөх[email protected] aliyun.com

Аж үйлдвэрийн мэдээ

» Мэдээ » Аж үйлдвэрийн мэдээ

Магнетрон цацах зарчим

2021年8月31日

 

Зорилтот магнетрон цацах зарчим:

Орсон соронзон орон ба цахилгаан талбар нь цацагдсан байны хооронд нэмэгддэг (катод) ба анод, ба шаардлагатай инертийн хий (ихэвчлэн Ar хий) өндөр вакуум камерт дүүрсэн байна. Байнгын соронз үүсдэг 250-350 зорилтот материалын гадаргуу дээр. Гауссын соронзон орон, мөн өндөр хүчдэлийн цахилгаан орон нь ортогональ цахилгаан соронзон орон үүсгэдэг.

Цахилгаан талбайн үйл ажиллагааны дор, Ар хий нь эерэг ион ба электрон руу ионждог. Тодорхой сөрөг өндөр хүчдэлийг зорилтот хэсэгт хэрэглэнэ. Зорилтот газраас ялгарч буй электронууд соронзон орны нөлөөлөлд өртөж, ажлын хийн иончлолын магадлал нэмэгддэг, катодын ойролцоо өндөр нягтралтай плазм үүсгэдэг. Лоренцын хүчний нөлөөн дор, Ар ионууд зорилтот гадаргуу руу хурдасгаж, зорилтот гадаргууг өндөр хурдтайгаар бөмбөгдөнө, Тиймээс зорилтот газраас гарч буй атомууд импульс хувиргах зарчмыг баримталж, кинетик энерги өндөртэй зорилтот гадаргуугаас зугтдаг.. Субстратыг хальс руу оруулах.

Magnetron sputtering нь ерөнхийдөө хоёр төрөлд хуваагддаг: цутгал цацалт, радио давтамж цацах. Цутгамал ус цацах төхөөрөмжийн зарчим нь энгийн, мөн метал цацах үед түүний хурд бас хурдан байдаг .. Радио давтамж цацах хэрэглээний хүрээ илүү өргөн байдаг. Цахилгаан дамжуулах материал цацахаас гадна, дамжуулагч бус материалыг мөн цацаж болно. Үүний зэрэгцээ, Энэ нь исэл гэх мэт холимог материалыг бэлтгэхийн тулд реактив цацалт хийж болно, нитрид, ба карбидууд .. Хэрэв радио давтамжийн давтамж нэмэгдвэл, энэ нь богино долгионы плазмын цацалт болдог. Одоогийн байдлаар, электрон циклотрон резонанс (ECR) Богино долгионы плазмын цацалтыг ихэвчлэн ашигладаг..

Магадгүй та ч бас дуртай байх

  • Ангилал

  • Сүүлийн үеийн мэдээ & Блог

  • Найздаа хуваалцаарай

  • КОМПАНИ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ХХК. нь өнгөт металл боловсруулах чиглэлээр мэргэшсэн Хятадын аж ахуйн нэгж юм, өндөр чанартай бүтээгдэхүүн, борлуулалтын дараах төгс үйлчилгээгээр дэлхийн хэрэглэгчдэд үйлчлэх.

  • Бидэнтэй холбоо бариарай

    Гар утас:86-400-660-1855
    Имэйл:[email protected] aliyun.com
    Вэб:www.chn-ti.com