സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ വർഗ്ഗീകരണം

ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങൾ
നിക്കൽ ടാർഗെറ്റ് നി, ടൈറ്റാനിയം ലക്ഷ്യം Ti, സിങ്ക് ലക്ഷ്യം Zn, ക്രോമിയം ലക്ഷ്യം Cr, മഗ്നീഷ്യം ടാർഗെറ്റ് Mg, നിയോബിയം ലക്ഷ്യം Nb, ടിൻ ലക്ഷ്യം Sn, അലുമിനിയം ലക്ഷ്യം Al, ഇൻഡ്യൻ ടാർഗെറ്റ് ഇൻ, ഇരുമ്പ് ലക്ഷ്യം Fe, സിർക്കോണിയം ലക്ഷ്യം ZrAl, ടൈറ്റാനിയം ലക്ഷ്യം TiAl, സിർക്കോണിയം ലക്ഷ്യം Zr, അലുമിനിയം സിലിക്കൺ ലക്ഷ്യം AlSi, സിലിക്കൺ ലക്ഷ്യം Si, ചെമ്പ് ലക്ഷ്യം Cu, ടാന്റലം ടാർഗെറ്റ് ടാ, ജെർമേനിയം ടാർഗെറ്റ് ജി, വെള്ളി ലക്ഷ്യം Ag, കോബാൾട്ട് ടാർഗെറ്റ് കമ്പനി, സ്വർണ്ണ ലക്ഷ്യം Au, ഗാഡോലിനിയം ടാർഗെറ്റ് Gd, ലാന്തനം ലക്ഷ്യം ല, ytrium ലക്ഷ്യം Y, സെറിയം ലക്ഷ്യം Ce, സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ലക്ഷ്യം, NiCr, ഹാഫ്നിയം എച്ച്എഫ്, മോ, FeNi, ഡബ്ല്യു, തുടങ്ങിയവ.
സെറാമിക് ലക്ഷ്യങ്ങൾ
ഐടി ലക്ഷ്യങ്ങൾ, മഗ്നീഷ്യം ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ഇരുമ്പ് ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ക്രോമിയം ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിങ്ക് ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിങ്ക് സൾഫൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിലിക്കൺ ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സെറിയം ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിർക്കോണിയം ഡയോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, നിയോബിയം പെന്റോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ടൈറ്റാനിയം ഡയോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിർക്കോണിയം ഡയോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ഹാഫ്നിയം ഡയോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യം, ടൈറ്റാനിയം ഡൈബോറൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിർക്കോണിയം ഡൈബോറൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ടങ്സ്റ്റൺ ട്രയോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, അലൂമിനിയം ട്രയോക്സൈഡ് ടാന്റലം പെന്റോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യമിടുന്നു, നിയോബിയം പെന്റോക്സൈഡ് ലക്ഷ്യമിടുന്നത് മഗ്നീഷ്യം ഫ്ലൂറൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങളെയാണ്, yttrium ഫ്ലൂറൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിങ്ക് സെലിനൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, അലുമിനിയം നൈട്രൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ബോറോൺ നൈട്രൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ലിഥിയം നിയോബേറ്റ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, പ്രസിയോഡൈമിയം ടൈറ്റനേറ്റ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ബേരിയം ടൈറ്റനേറ്റ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, ലാന്തനം ടൈറ്റനേറ്റ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, നിക്കൽ ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ, സ്പൂട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ, തുടങ്ങിയവ.
അലോയ് ടാർഗെറ്റുകൾ
FeCo, അൽസി, ടിസി, CrSi, ZnAl, TiZn, TiAl, TiZn, TiZr, ടിസി, ടിനി, NiCr, NiAl, നിവി, NiFe, തുടങ്ങിയവ. [1]
ഡവലപ്മെന്റ് എഡിറ്റർ വോയ്സ്
അർദ്ധചാലക സംയോജിത സർക്യൂട്ടുകളിൽ വിവിധ തരം സ്പട്ടറിംഗ് നേർത്ത ഫിലിം മെറ്റീരിയലുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിച്ചു. (വി.എൽ.എസ്.ഐ), ഒപ്റ്റിക്കൽ ഡിസ്കുകൾ, ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകളും വർക്ക്പീസുകളുടെ ഉപരിതല കോട്ടിംഗും, തുടങ്ങിയവ. 1990 മുതൽ, സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെയും സ്‌പട്ടറിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും ഒരേസമയം വികസനം വിവിധ പുതിയ ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളുടെ വികസനത്തിന്റെ ആവശ്യങ്ങൾ വളരെയധികം നിറവേറ്റിയിട്ടുണ്ട്. ഉദാഹരണത്തിന്, അർദ്ധചാലക ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, അലുമിനിയം ഫിലിം വയറിങ്ങിന് പകരം കോപ്പർ കണ്ടക്ടർ ഫിലിമിന്റെ കുറഞ്ഞ പ്രതിരോധം: ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ വ്യവസായത്തിൽ, വൈവിധ്യമാർന്ന ഡിസ്പ്ലേ സാങ്കേതികവിദ്യ (എൽസിഡി പോലുള്ളവ, പി.ഡി.പി., OLED, FED, തുടങ്ങിയവ.) ഒരേസമയം വികസനം, ചിലത് കമ്പ്യൂട്ടറുകളിലും കമ്പ്യൂട്ടറുകളിലും ഡിസ്പ്ലേ നിർമ്മാണത്തിനായി ഉപയോഗിച്ചു; വിവര സംഭരണ ​​വ്യവസായത്തിൽ, മാഗ്നറ്റിക് മെമ്മറി സംഭരണശേഷി വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്നു, പുതിയ കാന്തിക ഒപ്റ്റിക്കൽ റെക്കോർഡിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾ വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളുടെ ഗുണനിലവാരത്തിന് ആവശ്യമായ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളാണ്, ആവശ്യക്കാരുടെ എണ്ണവും വർഷം തോറും വർദ്ധിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുകയാണ്.

Www.DeepL.com/Translator ഉപയോഗിച്ച് വിവർത്തനം ചെയ്‌തു (സ്വതന്ത്ര പതിപ്പ്)