PVD- പൂശിയ ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ നിർമ്മാണവും പ്രയോഗവും

ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം അലോയ് ടാർഗെറ്റ് നിർമ്മിക്കാൻ പരമ്പരാഗതമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന കാസ്റ്റിംഗ് രീതിയും പൊടി മെറ്റലർജി രീതിയും.

ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം അലോയ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ കാസ്റ്റിംഗ് രീതിക്ക് പോറോസിറ്റിയും സങ്കോചവും ഒഴിവാക്കാനാവില്ല. വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം കാസ്റ്റ് പൈപ്പുകൾക്കും ഇൻഗോട്ടുകൾക്കും കറങ്ങുന്ന ട്യൂബ് ടാർഗറ്റ് നിർമ്മിക്കുമ്പോൾ സീലിംഗും വാട്ടർപ്രൂഫ് ഇഫക്റ്റും ഉറപ്പ് നൽകാൻ കഴിയില്ല., കൂടാതെ ട്യൂബ് മതിൽ കൊത്തിവച്ചതുപോലെ, മതിൽ കനം നേർത്തതായി മാറുന്നു, ഒരു ദ്വാരം ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നിടത്തോളം അയഞ്ഞതും ചുരുങ്ങുന്നതുമായ ദ്വാരങ്ങൾ, സീലിംഗ് മോശമാകും, ഭാരം കുറഞ്ഞവ ചോരും, ടാർഗെറ്റ് ട്യൂബ് ഡിസ്ചാർജ് ചെയ്യാൻ തുടങ്ങും, അല്ലെങ്കിൽ ഒരു വലിയ അളവിലുള്ള അശുദ്ധി പ്രതികരണത്തിൽ പങ്കെടുക്കുകയും ഫിലിം വീഴുന്നതിന് കാരണമാവുകയും അല്ലെങ്കിൽ നിറം തെറ്റാകുകയും ചെയ്യും .. കഠിനമായ സന്ദർഭങ്ങളിൽ, സങ്കോച അറയിൽ നിന്ന് വാക്വം ചേമ്പറിലേക്ക് വെള്ളം നേരിട്ട് കുത്തിവയ്ക്കുന്നു, ഇത് യഥാർത്ഥ അറയെയും വാക്വം യൂണിറ്റിനെയും മലിനമാക്കും.

പൊടി മെറ്റലർജി പ്രക്രിയ ഉത്പാദനംടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം ലക്ഷ്യംസുഷിരത്തിന്റെയും സങ്കോചത്തിന്റെയും പ്രശ്നമില്ല, എന്നാൽ പൊടി ലോഹശാസ്ത്രത്തിന്റെ സൂക്ഷ്മ കാഴ്ചപ്പാടിൽ നിന്ന്, ഇത് ഒരു പോറസ് മെറ്റീരിയൽ കൂടിയാണ്, അതിനാൽ നിങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാൻ ആഗ്രഹിക്കുന്നുവെങ്കിൽടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം കറങ്ങുന്ന ട്യൂബ് ലക്ഷ്യം, മെറ്റീരിയൽ ഒതുക്കത്തിനുള്ള ആവശ്യകതകൾ വളരെ കർശനമാണ്, സാന്ദ്രത കൂടുതലായിരിക്കണം 98%, എന്നാൽ സാന്ദ്രത ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നത് അത് ഉപയോഗിക്കാനാകുമെന്ന് അർത്ഥമാക്കുന്നില്ല. ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം ഇൻഗോട്ടിന്റെ ഓക്സിജന്റെ അളവ് കൂടുതലാണെങ്കിൽ മൈക്രോ സ്ട്രക്ചർ യുക്തിരഹിതമാണ്, ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം ഇൻഗോട്ടിന്റെ ആന്തരിക സമ്മർദ്ദം വലുതാണ്, അത് തകർക്കാൻ എളുപ്പമാണ്, കറങ്ങുന്ന ട്യൂബ് ടാർഗെറ്റായി ഇത് ഉപയോഗിക്കാൻ കഴിയില്ല. അതുകൊണ്ടു, പൊടി ഉൽപാദനത്തിനും കണികാ വലുപ്പ അനുപാതത്തിനും നിരവധി ആവശ്യകതകളുണ്ട്..ഈ നിബന്ധനകൾ പാലിച്ചാലും, പൊടി മെറ്റലർജി ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം റിംഗ് സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ട്യൂബിലോ ടൈറ്റാനിയം ട്യൂബിലോ ബന്ധിപ്പിക്കേണ്ടതുണ്ട്. ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയത്തിന്റെ വലിയ താപ വികാസ ഗുണകം കാരണം, ലോക്കൽ ടാർഗെറ്റ് വിപുലീകരണം സ്പൂട്ടിംഗ് സമയത്ത് പൂജ്യത്തിലെത്തിയേക്കാം..5 ～ 1 മി, അതിനാൽ പരമ്പരാഗത രീതിയിലുള്ള ഇൻഗോട്ടുകൾ ഈ പ്രശ്നം ഫലപ്രദമായി പരിഹരിക്കാൻ കഴിയില്ല. ടൈറ്റാനിയത്തിന്റെയും അലുമിനിയം ബൈൻഡിംഗ് ഇൻഗോട്ടുകളുടെയും വേർതിരിക്കൽ സംഭവിക്കുന്നു, കൂടാതെ ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിന്റെ താപ energyർജ്ജം നടത്താനും പൊട്ടിത്തെറിക്കാനും കഴിയില്ല..എന്നിരുന്നാലും, ഇറുകിയ പൊരുത്തം വിശ്വസനീയമല്ല, പ്ലാസ്മ തെറിച്ച ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം അലോയ് ടാർഗെറ്റിന്റെ ഗുണനിലവാരം മോശമാണ്..

അലങ്കാര പൂശൽ വാച്ചിലെ സ്വർണ്ണ റോസ്, ആഭരണങ്ങൾ, കണ്ണട വ്യവസായങ്ങൾ. അടുത്തിടെ, പല ആവശ്യകതകളിലും കാർബൺ അടങ്ങിയിട്ടില്ല, കൂടാതെ റോസാപ്പൂവിന്റെ മുഖത്തെ റോസ് ഗോൾഡ് സ്വർണ്ണത്തിലേക്ക് അടുപ്പിക്കുന്നു .. ഞങ്ങളുടെ അഭിപ്രായത്തിൽ, TiCN- ന് ഇനി ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റാനാവില്ല. TiAlN ആണ് ഏറ്റവും മികച്ച പരിഹാരം. ലോ-എൻഡ് വാച്ച് ആഭരണങ്ങൾക്ക് ഫിലിം കനത്തിനും ഗ്ലോസിനും ആവശ്യമില്ല. അവരിൽ ഭൂരിഭാഗവും TiAlN നിക്ഷേപിക്കാൻ ആർക്ക് ടൈറ്റാനിയം അലുമിനിയം ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഹൈ-എൻഡ് ബ്രാൻഡ് വാച്ചുകൾക്ക് 1um ലും ഗ്ലോസിലും കൂടുതൽ കനം ആവശ്യമാണ്. വീഴാൻ കഴിയില്ല. ആർക്ക് തുള്ളികൾ ബാധിക്കുന്നു, മിനുസമാർന്നതും കട്ടിയുള്ളതുമായ ഫിലിമിൽ യാതൊരു ഗുണവുമില്ലഓകെല്ലികറങ്ങുന്ന ട്യൂബ് ടാർഗെറ്റിനൊപ്പം TiAIN നിക്ഷേപിക്കുക എന്നതാണ് ഒരു മികച്ച മാർഗ്ഗം എന്ന് നിലവിലെ വിതരണ ഓർഡറിന്റെ ഫീഡ്‌ബാക്കിൽ നിന്ന് കാണാൻ കഴിയും., റോസ് ഗോൾഡിനോട് നിറം മാത്രമല്ല അടുപ്പം, എന്നാൽ കനം കൂട്ടിയ ശേഷം ഗ്ലോസിനെ ബാധിക്കില്ല..