Nau mai ki ta maatau paetukutuku
..0086-18429179711 ..[email protected] aliyun.com

Panui Ahumahi

» Korero » Panui Ahumahi

Ko nga whaainga pupuhi a Magnetron

2021年10月29日

1) Te kaupapa aukume aukume.
I roto i te pou whainga kua pakaru (katarata) me te anode i waenga i te taapiri o te papa autō orthogonal me te papa hiko, i roto i te ruuma teitei ka whakakiihia ki te penehi inert e hiahiatia ana (te tikanga Ar hau), aukume pūmau i roto i te mata rauemi ūnga ki te hanga i te mara autō o 250 ~ 350 hauhau, me te papa hiko ngaohiko teitei hei hanga i te mara hiko orthogonal. I raro i te mahi a te papa hiko, ka katote te hau Ar ki nga katote pai me nga irahiko, ka taapirihia te whaainga me tetahi ngaohiko teitei kino, ko nga irahiko mai i te whaainga kei raro i te mahi a te papa autō me te piki haere o te katote o te hau mahi, ka hanga he plasma kiato teitei tata ki te cathode, ka whakaterehia nga katote Ar i raro i te mahi a te kaha Lorentz, ka rere ki te mata i whäia, te pupuhi i te mata whainga me te tino tere, kia whai nga ngota i puta mai i te whainga i te kaupapa o te hurihanga torohaki me te teitei Ko nga ngota e pupuhi ana i runga i te whainga ka whai i te kaupapa hurihanga o te kaha kinetic ka rere atu i te mata o te mata ki te tïpako ki te whakatakoto kiriata.. Ko te sputtering aukume te tikanga e rua nga momo: Te pupuhi DC me te pupuhi RF, he maamaa te maapono o nga taputapu pupuhi DC me te tere o te tere i te wa e pupuhi ana nga konganuku. RF pupuhi, i tetahi atu ringa, Ka taea te whakamahi i roto i te whānuitanga o nga tono ka taea te pupuhi i nga taonga kore-whakahaere hei taapiri atu ki nga taonga hiko., tae atu ki te pupuhi tauhohenga mo te whakareri i nga rawa puhui penei i te waikura, nitrides me waro. Mena ka whakanuia te auau o te RF ka huri te ngaruiti plasma sputtering, i tenei ra, ka whakamahia noa ko te irahiko irahiko cyclotron (ECR) momo momo ngaruiti ngaruiti ngaruiti.
2) Nga momo o nga whaainga pupuhi magnetron.
Taonga whakarakei piu whakarewa, whāinga paninga taupatupatu koranu, ūnga paninga uku, boride ūnga uku, wero karepe karu putu, whiu putorino uku putorino, nitride ceramic sputtering ūnga, ūnga uku uku, whaainga ngutu uku, whaainga uku uku uku, ūnga whiu uku uku, Tuhinga o mua, etahi atu whaainga uku, chromium-doped he piro hika waikura uku (Cr-SiO), whāinga phosphide indium (InP), nga whaainga arsenide arahi (PbAs), whaainga arsenide indium (InAs). [2]
Te Reo Etita Rohe Tono
Kei te mohio katoa taatau, Ko te ahua o te whanaketanga hangarau o nga rauemi whaainga e hono tata ana ki te whanaketanga o te hangarau kiriata angiangi i roto i te umanga tono whakararo, a, i te mea ko te ahumahi tono te whakapai ake i te hangarau i roto i nga hua kiriata kikokore, i nga waahanga ranei, kia huri hoki te hangarau hangarau whaainga. Hei tauira, Kaihanga Ic. I nga wa tata nei i whakatapua ki te whakawhanaketanga o nga waea parahi parenga iti, e tika ana kia tino whakakapi te kiriata konumohe taketake i roto i nga tau e whai ake nei, kia tere te whanaketanga o nga whainga parahi me o raatau papanga paparanga arai e hiahiatia ana. Hei taapiri, i nga tau kua taha ake nei, te whakaaturanga papa papa (FPD) tino whakakapi i te ngongo hihi katareti taketake (CRT) te aroturuki rorohiko me te maakete pouaka whakaata. Ka tino piki ake te hangarau me te tono maakete mo nga whaainga ITO. Hei taapiri, i roto i te hangarau rokiroki. Kiato teitei, kōpae mārō kaha teitei, Kei te piki tonu te hiahia o te kōpae whatu ka taea te tuhi ano. Ko enei mea katoa i puta ai nga huringa i roto i te tono umanga tono mo nga rauemi kua tohua. I te wa e whai ake nei ka whakaurua e matou nga waahanga tono matua o nga rauemi kua tohua, me te ia o te whakawhanaketanga rawa o enei wahanga.
Hiko-Hiko
Ko te ahumahi semiconductor nga whakaritenga o te kounga e tino hiahia ana mo nga kiriata pupuhi o tetahi ahumahi tono. I tenei ra, nga angiangi silicon o runga ki 12 inihi (300 epitodes) kei te hangaia. i te wa e heke haere ana te whanui o nga hononga. Ko nga whakaritenga a nga kaihanga angiangi silicon mo nga rahi nui, viivii teitei, he iti te wehewehenga me nga kakano pai e hiahia ana kia pai ake te hangahanga moroiti o nga whaainga i hangaia. Ko te diameter matūriki tioata me te riterite o te whaainga kua tohua hei take matua e pa ana ki te reiti waipara o te kiriata. Hei taapiri, ko te ma o te kiriata e tino whakawhirinaki ana ki te ma o te whaainga. I mua, a 99.995% (4N5) Ka taea pea e te whainga parahi parakore te whakatutuki i nga hiahia o nga kaihanga semiconductor mo te mahi 0.35pm, engari kaore e taea te whakatutuki i nga whakaritenga o te tukanga 0.25um o tenei ra, i te 0.18um} toi, ara 0.13m tukanga mo te unmetered ka rapua e te purenga ūnga o 5 6N neke atu ranei. Ka whakaritea te parahi ki te konumohe, He teitei ake te parenga o te parahi ki te heke hiko me te iti o te parenga ki te whakatau! Ko te mahi a te kaitakawaenga me whai waea iti-micron i raro i te 0.25um engari ka mau mai etahi atu raru: he iti te kaha piri o te parahi ki nga rauemi dielectric organic. A he ngawari ki te urupare, ko te hua o te whakamahi i te maramara o te raina honohono parahi ka waikura, ka pakaru. Hei whakaoti i enei raruraru, te hiahia ki te whakatu i tetahi paparanga arai i waenga i te apa parahi me te paparanga dielectric. Ko nga rauemi paparanga aukati ka whakamahia i te waahi whakarewa teitei, te parenga teitei o te whakarewa me ona huinga, na ko te matotoru o te paparanga aukati he iti iho i te 50nm, a he pai te mahi adhesion rauemi parahi me te dielectric. He rereke te hononga parahi me te hononga konumohe o te papanga paparanga aukati. Me whakawhanake nga rauemi hou. Ko te hononga parahi o te paparanga aukati me nga taonga whainga tae atu ki a Ta, W, TaSi, WSi, etc.. Engari ko Ta, He konganuku whakaahuru te W. He uaua te whakaputa, kei te ako molybdenum inaianei, chromium me etahi atu koura o Taiwana hei taonga rereke.
Mo nga whakaaturanga
Whakaaturanga papatahi (FPD) kua whai paanga nui ki te maakete rorohiko me te maakete pouaka whakaata i roto i nga tau, te nuinga i roto i te ahua o ngongo hihi cathode (CRT), ka akiakihia te hangarau me te tono maakete mo nga whaainga ITO. E rua nga momo whaainga iTO e waatea ana i tenei ra. Ko tetahi ko te whakamahi i te waikura indium-state me te paura waikura tine kua konatunatuahia, kua pania, Ko tetahi ko te whakamahi i te indium tin alloy target. Ka taea te whakamahi i nga whaainga koranu indium-tin mo nga kiriata angiangi ITO ma te DC reactive sputtering, engari ka oxidize te mata i whäia, ka pä ki te tere o te sputtering, a ehara i te mea ngawari ki te whiwhi rahi nui o nga whaainga koura o Taiwana. I enei ra, Ko te tikanga tuatahi ka whakamahia hei whakaputa i nga whaainga ITO, whakamahi L}IRF paninga sputtering tauhohenga. He tere tukunga tere. A ka taea te whakahaere tika i te matotoru o te kiriata, tino kawe, te riterite pai o te kiriata, me te piri kaha ki te tïpako, etc.. l. Ko nga uaua hanga rauemi ūnga, na te mea ko te indium oxide me te tin oxide ehara i te mea ngawari ki te whakakotahi tahi. ZrO2, Ko te Bi2O3 me te CeO te tikanga ka whakamahia hei taapiri whakaurunga ka taea te whiwhi i nga whaainga me te kiato o 93% ki 98% o te uara ariā. Ko te mahinga o nga kiriata ITO i hangaia penei ka tino whakawhirinaki ki nga taapiri. Ka whakamahia e nga kaiputaiao Hapani a Bizo hei taapiri, Ka rewa a Bi2O3 i te 820Cr, a, kua pahekeheke i tua atu i te paemahana sintering o l500°C. Ma tenei ka taea te whiwhi i te taumata ITO ahua parakore i raro i nga tikanga whakangao wai. Ano hoki, e kore e tika te waikura raw rauemi e hiahiatia ana ki te kia nanoparticles, e whakangwari ana i te tukanga tuatahi. I roto i te 2000, te Komihana Whakamahere Whanaketanga Motu, te Manatū Pūtaiao me te Hangarau Te Manatū Pūtaiao me te Hangarau i te “te whanaketanga matua o naianei mo nga waahanga matua o te ahumahi korero”, Kei te whakauru ano hoki nga rauemi ITO.
Mo te rokiroki
I roto i te hangarau rokiroki, te whakawhanaketanga o te teitei, Ko te kōpae mārō kaha-nui e hiahia ana kia maha nga rauemi kiriata magnetoresistive nui, me te CoF~Cu multilayer composite kiriata he hangahanga kiriata magnetoresistive nui e whakamahia ana i enei ra. Ko te TbFeCo koranu rauemi whaainga e hiahiatia ana mo nga kopae autō kei te whanake tonu, me nga kōpae autō i hangaia mai i a ia he nui te kaha rokiroki, te roa o te ora, ka taea te whakakore i nga wa katoa me te kore whakapiri. Ko nga kopae autō i whakawhanakehia i tenei ra he paparanga hanga kiriata hiato o TbFeCo/Ta me TbFeCo/Al. Ko te koki hurihanga Kerr o te hanganga TbFeCo / AI ka tae 58, ka taea e TbFeCofFa te tata ki 0.8. Kua kitea ko te iti o te uruhanga autō o te rauemi i whäia te teitei AC ngaohiko tuku wahanga l whakahë i te kaha hiko..
Germanium antimony telluride based phase change memories (PCM) kua whakaatu i te kaha arumoni nui hei hangarau maumahara rereke mo te momo rama NOR me tetahi waahanga o te maakete DRAM, heoi, Ko tetahi o nga wero i runga i te huarahi ki te tere tere ko te kore o nga pūtau hermetic ka taea te whakaputa hei whakaiti ake i te naianei tautuhi.. Ka taea e nga oma tautuhi iti te whakaiti i te kohi hiko mahara, whakaroa te ora o te pākahiko me te whakanui i te bandwidth raraunga, nga ahuatanga nui katoa mo nga korero-raraunga o enei ra, kaihoko tino kawe

 

Ka pai pea koe

  • Ngā Kāwai

  • Nga Korero Hou & Blog

  • Tohaina ki te hoa

  • KAPANA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. he hinonga Hainamana e mahi motuhake ana i te tukatuka i nga konganuku koretake, te mahi ki nga kaihoko o te ao me nga hua o te kounga kairangi, me te ratonga tino whai muri-hoko.

  • Whakapā Mai

    Mobile:86-400-660-1855
    Imeera:[email protected] aliyun.com
    Paetukutuku:www.chn-ti.com