Tongasoa eto amin'ny tranonkalantsika
..0086-18429179711 ..[email protected] aliyun.com

Vaovao indostrialy

» NEWS » Vaovao indostrialy

Magnetron sputtering tanjona

2021年10月29日

1) Fitsipika sputtering momba ny Magnetron.
Ao amin'ny tsato-kazo kendrena sputtered (cathode) ary ny anode eo anelanelan'ny fampidirana sahan'andriamby orthogonal sy herinaratra, ao amin'ny efitrano fandraisam-bahiny avo feno gazy tsy mitaky (matetika Ar gazy), andriamby maharitra ao amin'ny zavatra kendrena ambonin'ny mba hamorona sahan'andriamby ny 250 ~ 350 gauss, miaraka amin'ny sahan-jiro malefaka avo lenta mba hamorona sahan'ny elektromagnetika orthogonal. Eo ambanin'ny asan'ny saha elektrika, ny entona Ar dia mivadika ho ion sy elektronika tsara, ny lasibatra dia ampiana miaraka amin'ny voltase avo ratsy sasany, ny elektrôna avy amin'ny kendrena dia iharan'ny hetsiky ny sahan'andriamby ary mitombo ny ionisation ny entona miasa, misy plasma avo lenta miforona eo akaikin'ny cathode, ny Ar ion dia haingana noho ny asan'ny hery Lorentz ary manidina mankany amin'ny faritra kendrena, fanapoahana baomba amin'ny haavon'ny kendrena amin'ny hafainganam-pandeha avo dia avo, ka ny atôma mipoitra avy ao amin'ny kendrena dia manaraka ny fitsipiky ny fiovam-po amin'ny haavony Ny atôma mipoitra eo amin'ny kendrena dia manaraka ny fitsipiky ny fiovam-po amin'ny angovo kinetika ary manidina eny amin'ny toerana kendrena mankany amin'ny substrate mba hametrahana sarimihetsika.. Ny famafazana Magnetron dia mizara roa amin'ny ankapobeny: DC sputtering sy RF sputtering, izay ny fitsipiky ny DC sputtering fitaovana dia tsotra ary ny tahan'ny dia haingana rehefa sputtering metaly. RF sputtering, etsy ankilany, azo ampiasaina amin'ny fampiharana maro kokoa ary afaka mitsambikina akora tsy mitongilana ankoatry ny fitaovana elektrika, ary koa ny sputtering mihetsiketsika ho an'ny fanomanana akora mitambatra toy ny oxides, nitrida sy karbida. Raha ampitomboina ny fatran'ny RF dia lasa mipoitra ny plasma mikraoba, amin'izao fotoana izao, mahazatra ampiasaina dia ny résonance cyclotron electron (ECR) karazana mikraoba mikraoba mikraoba.
2) Karazan'ny magnetron sputtering kendrena.
Lasibatra fanaronana vy, lasibatry firakotra sputtering firaka, lasibatry firakotra sputtering seramika, lasibatra fitetezana seramika borida, lasibatra fikororohana seramika karbida, lasibatra fitetezana seramika fluoride, nitride seramika sputtering tanjona, lasibatra seramika oksida, lasibatra fitetezana seramika, lasibatra famonoana silamo, lasibatra fitetezana ceramic sulfide, targeturide tanjona sputtering keramika, lasibatra seramika hafa, krômôma-doped seramika silisiôma oxide kendrena (Cr-SiO), lasibatra phosphide indium (InP), tanjona arsenide mitarika (PbAs), tanjon'ny ariumide indium (InAs). [2]
Feon'ny Editor Areas Applications
Araka ny fantatsika rehetra, ny fivoaran'ny teknolojian'ny fitaovana kendrena dia mifandray akaiky amin'ny fivoaran'ny teknolojia sarimihetsika manify amin'ny indostrian'ny fampiharana ambany, ary ny indostrian'ny fampiharana dia manatsara ny teknolojia amin'ny vokatra na singa manify, ny teknolojia lasibatra kendrena dia tokony hiova koa. Ohatra, Mpanamboatra Ic. Tato ho ato natokana ho amin'ny fampandrosoana ny ambany resistivity varahina wiring, dia antenaina hanolo be ny sarimihetsika aluminium tany am-boalohany ao anatin'ny taona vitsivitsy, ka ho maika ny fampivoarana ireo kendrena varahina sy ireo akora kendrena sosona sakana ilaina. Ankoatry ny, tato anatin'ny taona vitsy lasa, ny fisehoan'ny tontonana fisaka (FPD) nanolo ny fantsom-pahazavana cathode tany am-boalohany (CRT) mifototra amin'ny solosaina sy ny tsenan'ny fahitalavitra. Hampitombo be ihany koa ny teknolojia sy ny fitakiana tsena ho an'ny tanjona ITO. Ankoatry ny, amin'ny teknolojia fitahirizana. avo-hakitroky, kapila mafy avo lenta, Mitombo hatrany ny fangatahana kapila optika azo soratana avo lenta. Izany rehetra izany dia nitarika ny fiovana amin'ny fangatahana indostrian'ny fampiharana ireo fitaovana kendrena. Amin'ity manaraka ity dia hampiditra ny faritra fampiharana lehibe amin'ny fitaovana kendrena, ary ny fironana amin'ny fampandrosoana ara-pitaovana kendrena amin'ireo sehatra ireo.
Microelectronics
Ny indostrian'ny semiconductor dia manana ny fepetra takian'ny kalitao indrindra ho an'ny sarimihetsika sputtering kendrena amin'ny indostrian'ny fampiharana rehetra. ankehitriny, silicone wafers hatramin`ny 12 santimetatra (300 epitodes) dia amboarina. raha toa ka mihena ny sakan'ny fifandraisana. Ny fepetra takian'ny mpanamboatra wafer silisiôma ho an'ny habe lehibe, fahadiovana avo, Ny fanavahana ambany sy ny voamaina tsara dia mitaky ny hananan'ireo tanjona amboarina manana rafitra mikro tsara kokoa. Ny savaivony potika kristaly sy ny fitovian'ny kendrena dia nofaritana ho anton-javatra lehibe misy fiantraikany amin'ny tahan'ny fametrahana ny sarimihetsika. Ankoatry ny, ny fahadiovan'ny sarimihetsika dia tena miankina amin'ny fahadiovan'ny tanjona. Taloha, ny 99.995% (4N5) Ny kendrena varahina madio dia mety hahafeno ny filan'ny mpanamboatra semiconductor amin'ny dingana 0.35pm, saingy tsy mahafeno ny fepetra takian'ny dingana 0.25um ankehitriny, ary 0.18um} zavakanto na 0.13m dingana ho an'ny unmetered dia mitaky fahadiovana tanjona 5 na 6N na mihoatra aza. Varahina raha oharina amin'ny aluminium, Ny varahina dia manana fanoherana avo kokoa amin'ny electromigration ary ambany kokoa ny resistivity hihaona! Ny fizotry ny conducteur dia mitaky tariby sub-micron ambanin'ny 0.25um fa mitondra olana hafa: ambany ny tanjaky ny adhesion ny varahina amin'ny fitaovana dielectric organika. Ary mora mihetsika, vokatry ny fampiasana ny chip varahina interconnection tsipika dia harafesina sy tapaka. Mba hamahana ireo olana ireo, ny ilaina ny hametraka sakana sosona eo amin`ny varahina sy ny dielectric sosona. Ny fitaovana sosona fanakanana dia matetika ampiasaina amin'ny teboka avo lenta, resistivity avo ny metaly sy ny fitambarany, noho izany ny hatevin'ny sosona fanakanana dia latsaky ny 50nm, ary tsara ny fampisehoana adhesion fitaovana varahina sy dielectric. Ny fifandraisana varahina sy ny fifandraisan'ny aluminium amin'ny fitaovana fanakanana dia tsy mitovy. Mila amboarina ny fitaovana kendrena vaovao. Fifandraisana varahina ny sosona fanakanana miaraka amin'ny fitaovana kendrena anisan'izany ny Ta, W, TaSi, WSi, Sns. Fa Ta, W dia metaly tsy mivadika. Somary sarotra ny famokarana, izao dia mianatra molybdène, chromium sy volamena Taiwan hafa ho fitaovana hafa.
Ho an'ny fampisehoana
Fampisehoana takelaka fisaka (FPD) Nisy fiantraikany lehibe teo amin'ny tsenan'ny solosaina sy ny fahitalavitra nandritra ny taona maro, indrindra amin'ny endrika fantsona taratra cathode (CRT), izay hitondra ihany koa ny teknolojia sy ny fitakiana tsena ho an'ny tanjona ITO. Misy karazany roa ny tanjona iTO misy ankehitriny. Ny iray dia ny fampiasana ny indium oxide nano-state sy ny vovon'ny oxide tin mifangaro sy voasivana, Ny iray dia ny fampiasana kendrena firaka indium tin. Ny lasibatra firaka indium-tin dia azo ampiasaina amin'ny sarimihetsika manify ITO amin'ny alàlan'ny sputtering DC reactive, fa ny faritra kendrena dia hi-oxidise ary hisy fiantraikany amin'ny tahan'ny sputtering, ary tsy mora ny mahazo lasibatra volamena any Taiwan. amin'izao fotoana izao, ny fomba voalohany amin'ny ankapobeny dia ampiasaina hamokarana tanjona ITO, mampiasa L}IRF reactive sputtering coating. Manana hafainganam-pandeha haingana izy io. Ary afaka mifehy tsara ny hatevin'ny sarimihetsika, fitondra-tena ambony, mifanaraka tsara amin'ny sarimihetsika, ary adhesion mafy amin'ny substrate, sns. l. Fa sarotra ny famokarana fitaovana kendrena, izay satria ny indium oxide sy ny tin oxide dia tsy mora ny mitambatra. ZrO2, Bi2O3 sy CeO dia matetika ampiasaina ho sintering additives ary afaka mahazo lasibatra amin'ny hakitroky ny 93% ny 98% ny sanda teorika. Ny fampisehoana ny sarimihetsika ITO miforona amin'izany fomba izany dia miankina betsaka amin'ny additives. Ny mpahay siansa japoney dia mampiasa Bizo ho toy ny additive, Ny Bi2O3 dia miempo amin'ny 820Cr ary mivadibadika mihoatra ny mari-pana sintering amin'ny l500°C. Izany dia ahafahana mahazo kendrena ITO somary madio amin'ny toe-javatra sinterina amin'ny dingan-drano. Ary, ny akora oxide ilaina dia tsy voatery ho nanoparticles, izay manamora ny dingana savaranonando. Ao amin'ny 2000, ny Vaomieram-pirenena momba ny drafitry ny fampandrosoana, ny Minisiteran'ny Siansa sy ny Teknolojia ao amin'ny Ministeran'ny Siansa sy ny Teknolojia “ny laharam-pahamehana amin'izao fotoana izao amin'ny sehatry ny indostrian'ny fampahalalam-baovao”, Tafiditra ao anatin'izany koa ny fitaovana lasibatra lehibe ITO.
Ho fitahirizana
Amin'ny teknolojia fitahirizana, ny fampandrosoana ny avo hakitroky, kapila mafy avo lenta dia mitaky fitaovana sarimihetsika magnetoresistive be dia be, ary CoF ~ Cu multilayer composite sarimihetsika dia be mpampiasa be dia be magnetoresistive sarimihetsika firafitra ankehitriny. Ny fitaovana kendrena firaka TbFeCo ilaina amin'ny kapila magnetika dia mbola eo am-pamolavolana bebe kokoa, ary ny kapila magnetika vita amin'izany dia manana fahafaha-mitahiry avo lenta, ela velona ary azo voafafa imbetsaka tsy misy fifandraisana. Ny kapila magnetika novolavolaina ankehitriny dia manana firafitry ny sarimihetsika mitambatra amin'ny TbFeCo/Ta sy TbFeCo/Al. Ny zoro fihodinan'ny Kerr amin'ny rafitra TbFeCo/AI dia tonga 58, raha TbFeCofFa kosa dia mety ho akaiky 0.8. Hita fa ny permeability magnetika ambany amin'ny fitaovana kendrena avo lenta avo lenta amin'ny ampahany l dia manohitra ny tanjaky ny herinaratra..
Germanium antimony telluride mifototra amin'ny dingana manova fahatsiarovana (PCM) dia naneho ny mety ara-barotra lehibe ho teknolojia fitadidiana hafa ho an'ny tselatra karazana NOR ary ampahany amin'ny tsena DRAM, na izany aza, Ny iray amin'ireo fanamby amin'ny lalana mankany amin'ny fanamafisam-peo haingana kokoa dia ny tsy fisian'ny sela hermetika tanteraka izay azo amboarina mba hampihenana ny reset ankehitriny.. Mety hampihena ny fanjifana herinaratra ny fahatsiarovana, hanitatra ny fiainan'ny bateria ary hampitombo ny bandwidth data, endri-javatra manan-danja rehetra ho an'ny data-centric ankehitriny, tena portable mpanjifa

 

Angamba tianao ihany koa

  • Sokajy

  • Vaovao farany & Blog

  • Mizarà amin'ny namana

  • ORINASA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. dia orinasa sinoa misahana manokana amin'ny fanodinana metaly tsy ferrous, manompo ny mpanjifa manerantany miaraka amina vokatra avo lenta ary serivisy aorian'ny fivarotana tonga lafatra.

  • Mifandraisa aminay

    Mobile:86-400-660-1855
    Mailaka:[email protected] aliyun.com
    Malagasy:www.rnfti.com