Laipni lūdzam mūsu vietnē
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Rūpniecības ziņas

» Jaunumi » Rūpniecības ziņas

Mērķa magnetrona izsmidzināšanas princips

2021Izsmidzināšanas mērķi

 

Magnetrona izsmidzināšanas princips: pievienojiet taisnleņķa magnētisko lauku un elektrisko lauku starp izsmidzināto mērķi (katods) un anodu, un izsmidzināšanas mērķis ir piepildīts ar nepieciešamo inerto gāzi (parasti Ar gāze) augsta vakuuma kamerā. Pastāvīgais magnēts veido a 250-350 Gausa magnētiskais lauks uz mērķa materiāla virsmas, un ar augstsprieguma elektrisko lauku veido ortogonālu elektromagnētisko lauku..

Elektriskā lauka ietekmē, Ar gāze jonizējas pozitīvos jonos un elektronos. Mērķim tiek piemērots noteikts negatīvs augstspriegums. No mērķa izstarotos elektronus ietekmē magnētiskais lauks un palielinās darba gāzes jonizācijas varbūtība, veidojot augsta blīvuma plazmu pie katoda. Lorencas spēka ietekmē, Arjoni paātrinās līdz mērķa virsmai un lielā ātrumā bombardē mērķa virsmu, tā, ka atomi, kas izspiesti no mērķa, ievēro impulsa pārveidošanas principu un lido prom no mērķa virsmas ar lielāku kinētisko enerģiju. Substrāta nogulsnēšanās plēvē. Magnetronu izsmidzināšanu parasti iedala divos veidos: Līdzstrāvas izsmidzināšana un radiofrekvenču izsmidzināšana. Līdzstrāvas izsmidzināšanas iekārtas princips ir vienkāršs. Izsmidzinot metālu, tā likme ir arī ātra..

Radiofrekvenču izsmidzināšanas pielietojuma diapazons ir plašāks. Papildus vadošu materiālu izsmidzināšanai, var arī izsmidzināt nevadošus materiālus. Tajā pašā laikā, tā var arī veikt reaktīvu izsmidzināšanu, lai sagatavotu saliktus materiālus, piemēram, oksīdus, nitrīdi, un karbīdi ... Kad tiek palielināta izsmidzināšanas mērķa radio frekvence, tas kļūst par mikroviļņu plazmas izsmidzināšanu. Tagadnē, elektronu ciklotronu rezonanse (ECR) parasti tiek izmantota mikroviļņu plazmas izsmidzināšana..

Varbūt arī tev patīk

  • Kategorijas

  • Jaunākās ziņas & Blogs

  • Kopīgojiet draugam

  • UZŅĒMUMS

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. ir Ķīnas uzņēmums, kas specializējas krāsaino metālu apstrādē, apkalpo globālos klientus ar augstas kvalitātes produktiem un nevainojamu pēcpārdošanas servisu.

  • Sazinies ar mums

    Mobilais:86-400-660-1855
    E-pasts:[email protected] aliyun.com
    Tīmeklis:www.chn-ti.com