Laipni lūdzam mūsu vietnē
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Rūpniecības ziņas

» Jaunumi » Rūpniecības ziņas

Magnetronu izsmidzināšanas izsmidzināšanas mērķa princips

2021Izsmidzināšanas mērķi

 

Izsmidzināšanas mērķa magnetrona izsmidzināšanas princips:

Starp izšļakstīto mērķi tiek pievienots ortogonāls magnētiskais lauks un elektriskais lauks (katods) un anodu, un nepieciešamo inerto gāzi (parasti Ar gāze) ir piepildīta augsta vakuuma kamerā. Veidojas pastāvīgais magnēts 250-350 uz mērķa materiāla virsmas. Gausa magnētiskais lauks, un augstsprieguma elektriskais lauks veido ortogonālu elektromagnētisko lauku.

Elektriskā lauka ietekmē, Ar gāze jonizējas pozitīvos jonos un elektronos. Mērķim tiek piemērots noteikts negatīvs augstspriegums. No mērķa izstarotos elektronus ietekmē magnētiskais lauks un palielinās darba gāzes jonizācijas varbūtība, veidojot augsta blīvuma plazmu pie katoda. Lorencas spēka ietekmē, Arjoni paātrinās līdz mērķa virsmai un lielā ātrumā bombardē mērķa virsmu, tā, ka atomi, kas izspiesti no mērķa, ievēro impulsa pārveidošanas principu un lido prom no mērķa virsmas ar lielāku kinētisko enerģiju. Substrāta nogulsnēšanās plēvē.

Magnetronu izsmidzināšanu parasti iedala divos veidos: pietekas izsmidzināšana un radiofrekvenču izsmidzināšana. Pietekas izsmidzināšanas iekārtas princips ir vienkāršs, un tā ātrums ir arī ātrs, izsmidzinot metālus..Radiofrekvenču izsmidzināšanas pielietojuma diapazons ir plašāks. Papildus vadošu materiālu izsmidzināšanai, var arī izsmidzināt nevadošus materiālus. Tajā pašā laikā, tā var arī veikt reaktīvu izsmidzināšanu, lai sagatavotu saliktus materiālus, piemēram, oksīdus, nitrīdi, un karbīdi..Ja radiofrekvences frekvence tiek palielināta, tas kļūst par mikroviļņu plazmas izsmidzināšanu. Tagadnē, elektronu ciklotronu rezonanse (ECR) parasti tiek izmantota mikroviļņu plazmas izsmidzināšana..

Varbūt arī tev patīk

  • Kategorijas

  • Jaunākās ziņas & Blogs

  • Kopīgojiet draugam

  • UZŅĒMUMS

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. ir Ķīnas uzņēmums, kas specializējas krāsaino metālu apstrādē, apkalpo globālos klientus ar augstas kvalitātes produktiem un nevainojamu pēcpārdošanas servisu.

  • Sazinies ar mums

    Mobilais:86-400-660-1855
    E-pasts:[email protected] aliyun.com
    Tīmeklis:www.chn-ti.com