Cilindrisku un plakanu magnetronu izsmidzināšanas mērķu priekšrocības

Salīdzinājumā ar citiem magnetronu izsmidzināšanas mērķu veidiem, cilindriski un plakani magnetrona izsmidzināšanas mērķi saglabā taisnās formas plakaniem mērķiem labas pārklājuma vienmērības priekšrocības, un var maksimāli palielināt mērķa materiālu, izmantojot šādus divus veidus:

(1) Kad abas grupas (četri) gredzenveida bedres uz mērķa virsmas sasniedz noteiktu dziļumu, mērķa kodols (magnēta daļa) var pagriezt par 45 ° attiecībā pret mērķa cauruli, lai citas mērķa caurules vietas, kas nav korozijas, varētu izmantot

(2) Kad cilindriskā un plakanā magnetrona izsmidzināšanas mērķa kodols ir veidots kā rotējošs mērķa kodols, (izsmidzināšanas laikā mērķa kodols griežas), mērķa materiāla virsmu var slāņot vienmērīgi, un bedres nebūs. Šajā laikā, mērķa materiāls tiks izmantots visefektīvāk, un mērķa materiāla izmantošanas līmenis var sasniegt 50% uz 60%. Ja mērķa materiāls ir dārgmetāla materiāls, tam neapšaubāmi ir liela nozīme..

Pieņemot magnēta un apavu principu koaksiālā cilindriskā magnetrona izsmidzināšanas mērķī, lai atrisinātu gala magnētiskā lauka problēmu, taisnstūra plaknes mērķi var pārvērst par cilindrisku, plakans magnetrona izsmidzināšanas mērķis, kas saglabā taisnstūra plaknes mērķa pārklājumu Labas vienveidības gadījumā, var maksimāli palielināt mērķa materiāla izmantošanas līmeni, tādējādi uzlabojot ekonomiskos ieguvumus.