Sveiki atvykę į mūsų svetainę
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Pramonės naujienos

» žinios » Pramonės naujienos

Purškimo taikinio magnetrono purškimo principas

2021年8月31日

 

Magnetrono purškimo principas: pridėkite stačiakampį magnetinį lauką ir elektrinį lauką tarp purškiamo taikinio (katodas) ir anodas, o purškimo taikinys pripildytas reikiamų inertinių dujų (paprastai Ar dujos) aukšto vakuumo kameroje. Nuolatinis magnetas sudaro a 250-350 Gauso magnetinis laukas ant tikslinės medžiagos paviršiaus, ir su aukštos įtampos elektriniu lauku sudaro stačiakampį elektromagnetinį lauką..

Veikiant elektriniam laukui, Ar dujos jonizuojasi į teigiamus jonus ir elektronus. Tikslui taikoma tam tikra neigiama aukšta įtampa. Iš taikinio skleidžiamus elektronus veikia magnetinis laukas ir padidėja darbinių dujų jonizacijos tikimybė, sudarydama didelio tankio plazmą šalia katodo. Veikiant Lorentzo jėgai, Ar jonai įsibėgėja iki taikinio paviršiaus ir dideliu greičiu bombarduoja taikinio paviršių, kad atomai, išsilieję iš taikinio, laikytųsi impulsų konversijos principo ir skristų tolyn nuo taikinio paviršiaus, turėdami didesnę kinetinę energiją. Substrato nusodinimas į plėvelę. Magnetroninis purškimas paprastai skirstomas į du tipus: DC purškimas ir radijo dažnio purškimas. Nuolatinės srovės purškimo įrangos principas yra paprastas. Purškiant metalą, jo norma taip pat greita..

Radijo dažnio purškimo taikymo sritis yra platesnė. Be laidžių medžiagų purškimo, taip pat gali būti purškiamos nelaidžios medžiagos. Tuo pačiu metu, jis taip pat gali atlikti reaktyvų purškimą, kad gautų sudėtines medžiagas, tokias kaip oksidai, nitridai, ir karbidai..Kai padidėja purškiamo taikinio radijo dažnio dažnis, jis tampa mikrobangų plazmos purškimu. Dabar, elektronų ciklotrono rezonansas (ECR) dažniausiai naudojamas mikrobangų plazmos purškimas..

Gal ir tau patinka

  • Kategorijos

  • Naujausios naujienos & Tinklaraštis

  • Pasidalink su draugu

  • BENDROVĖ

    „Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalio Niobium Metal Material Co.“, Ltd. yra Kinijos įmonė, kuri specializuojasi spalvotųjų metalų perdirbime, aptarnauja pasaulinius klientus aukštos kokybės produktais ir puikiu aptarnavimu po pardavimo.

  • Susisiekite su mumis

    Mobilus:86-400-660-1855
    Paštu:[email protected] aliyun.com
    Žiniatinklis:www.chn-ti.com