Purškiami taikiniai

Daugiasluoksnės optinės dengimo mašinos techninių parametrų sąrašas

modelis

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Dengimo kambario dydis

1050 × 1250, 304 Nerūdijantis plienas.

800 × 1000

900 × 1050

1200 × 1250

Vidinis dangos ertmės dydis

Tvirtinimo laikiklis yra 1680 mm virš žemės, tinka ergonomiškam darbo aukščiui.

Tvirtinimo laikiklis yra 1468 mm virš žemės, tinka ergonomiškam darbo aukščiui.

Tvirtinimo laikiklis yra 1510 mm virš žemės, tinka ergonomiškam darbo aukščiui.

1.Arkinis vieno ruošinio diskas, susitikti su klientais’ didesnio masto vienodumo poreikiai.Sukimas 5-30r/min, laipsniškas greičio keitimas.

2.Arkinis trijų ruošinių diskas, planetų revoliucija ir sukimasis, kad kuo labiau patenkintų klientų poreikius dėl gamybos pajėgumų.Rotacija 5-30r/min, laipsniškas greičio keitimas.

Armatūra

Galima įsigyti keturių dalių, laikiklio kampas reguliuojamas, kad labiau patenkintų klientų vienodumo poreikius.Rotacija 5-30r/min, laipsniškas greičio keitimas.

Arkinis vieno ruošinio diskas, susitikti su klientais’ didesnio masto vienodumo poreikiai.Sukimas 5-30r/min, laipsniškas greičio keitimas.

Vakuuminė sistema

Vienetas: difuzinis siurblys DIP-12000 (Leyboldas), Šaknų siurblys ZJY-300, mechaninis siurblys 2X-70, priežiūros siurblys 2X-8.Vamzdynas yra 304 Nerūdijantis plienas.

Vienetas: Difuzinis siurblys KT-400 (Zhenhua), Šaknų siurblys ZJY-150, mechaninis siurblys 2X-70, priežiūros siurblys 2X-8.

Vienetas: difuzinis siurblys KT-600 (Zhenhua), Šaknų siurblys ZJY-600, mechaninis siurblys 2X-70, priežiūros siurblys 2X-8.

Vienetas: Difuzinis siurblys KT-800 (Zhenhua), Šaknų siurblys ZJY-600, mechaninis siurblys 2X-70, priežiūros siurblys 2X-8.

Galutinis vakuumas: geriau nei 4 × 10-4 Pa.

Įrengtas apsaugos nuo turbulencijos įtaisas, saugus blokavimo dizainas, rankinis ir automatinis pasirenkamas.

Šildymo sistema

Šildymo metodas ant šildymo vamzdžio, PID valdymas, maksimali 350 ℃ ± 1,5 ℃.

Darbinė dujų infliacija

Dujų masės srauto valdymo prietaisas arba rankinis pripūtimo vožtuvo derinimas.

Vakuuminės jonizacijos bombardavimas

DC 3KV, 06KW strypo katodas (naudojamas ruošinio valymui prieš dengiant).

Garavimo šaltinis (neprivaloma)

1. TELEMARK-270 ° elektroninis pistoletas (importuotas), 6KW, aukštos įtampos 4KV-10KV reguliuojamas. Padėties nuskaitymas, trikampio bangos nuskaitymas, apskritas nuskaitymas, spiralinis nuskaitymas. Geras spindulių taškų fokusavimas, didelis padėties nustatymo tikslumas, ir geras nuskaitymo atkuriamumas.

2. Buitinis elektroninis ginklas (Zhenhua): 6KW, aukštos įtampos 4KV ～ 8KV reguliuojamas, gali pasirinkti trikampio bangą, sinusinės bangos, laisvai nuskaitykite kvadratines bangas.

3. Tiglis: šešių ertmių Φ38 × 20 tiglis arba keturių ertmių Φ38 × 20 plius vienos ertmės lanko formos tiglis, kurio vidurio lanko ilgis 87 (naudojamas dideliam sunaudojimui esant žemos lydymosi temperatūros garinimo medžiagoms) arba keturių ertmių Φ48 × 18 tiglis.

Jonų šaltinis (neprivaloma)

1. RF (Radijo dažnis) Jonų šaltinis (Importuota).

2. 5KVA salės jonų šaltinis (pagamino „Zhenhua“), naudojamas valymui prieš galvanizavimą arba pagalbinį galvanizavimą, kuris yra naudingas plėvelės lūžio rodikliui pagerinti, tvirtumas, ir plėvelės tankis bei sukibimas.

Plėvelės storio kontrolės sistema (pasirinkimas)

1. MDC-360 kristalų valdiklis (importuotas) gali laikyti 1 ～ 99 automatinio dengimo proceso sluoksnius, 99 programos duomenų rūšys, tikslumas 0.5%+1? Ištaisyta klaida.2TELEMARK-880 kristalų valdiklis (importas): gali laikyti 1 ～ 99 automatinio dengimo proceso sluoksnius, 99 programos duomenų rūšys. 精度 0,5%+1? Ištaisyta klaida.

3. TELEMARK-820 optinis valdiklis (importas): priima kelių bangų ilgio viso spektro galutinio taško analizės technologiją, ir sprendžia apie filmo pabaigą, analizuodamas pralaidumą (arba atspindys) monitoriaus lapo kreivė 370-870 mm. Didelis valdymo tikslumas, vieno bangos ilgio valdymas, taip pat galima naudoti automatinį valdymą ir rankinį valdymą.Papildoma MACILEOD plėvelės skaičiavimo programinė įranga, aukštas integracijos laipsnis.

4. „TELEMARK-820“ optinis valdiklis ir „TELEMARK-880“ kristalų valdiklis gali atitikti didelio tikslumo ir didelio pakartojamumo dangos reikalavimus. Bendradarbiaukite su pagrindiniu kompiuteriu, kad pasiektumėte visiškai automatinį valdymą.

5. Buitinis optinis valdiklis (toks kaip 9704 atitinkantis monochromatorius, ir kt.), bangos ilgis reguliuojamas nuo 330 į 870, o tikslumas gali siekti ± 1,5 nm.

Komunikatorius

Su magnetiniu pagrindu, jį galima pastatyti bet kurioje vakuuminės kameros durų ir valdymo spintelės vietoje.

Gal ir tau patinka