Sveiki atvykę į mūsų svetainę
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Pramonės naujienos

» žinios » Pramonės naujienos

Magnetrono purškimo purškimo taikinio principas

2021年8月31日

 

Purškimo taikinio magnetrono purškimo principas:

Tarp purškiamo taikinio pridedamas stačiakampis magnetinis laukas ir elektrinis laukas (katodas) ir anodas, ir reikiamų inertinių dujų (paprastai Ar dujos) pripildytas aukšto vakuumo kameroje. Susidaro nuolatinis magnetas 250-350 ant tikslinės medžiagos paviršiaus. Gauso magnetinis laukas, o aukštos įtampos elektrinis laukas sudaro stačiakampį elektromagnetinį lauką.

Veikiant elektriniam laukui, Ar dujos jonizuojasi į teigiamus jonus ir elektronus. Tikslui taikoma tam tikra neigiama aukšta įtampa. Iš taikinio skleidžiamus elektronus veikia magnetinis laukas ir padidėja darbinių dujų jonizacijos tikimybė, sudarydama didelio tankio plazmą šalia katodo. Veikiant Lorentzo jėgai, Ar jonai įsibėgėja iki taikinio paviršiaus ir dideliu greičiu bombarduoja taikinio paviršių, kad atomai, išsilieję iš taikinio, laikytųsi impulsų konversijos principo ir skristų tolyn nuo taikinio paviršiaus, turėdami didesnę kinetinę energiją. Substrato nusodinimas į plėvelę.

Magnetroninis purškimas paprastai skirstomas į du tipus: intakų ir radijo dažnių purškimas. Intakų purškimo įrangos principas yra paprastas, ir jo greitis taip pat yra greitas purškiant metalus..Radijinio dažnio purškimo taikymo sritis yra platesnė. Be laidžių medžiagų purškimo, taip pat gali būti purškiamos nelaidžios medžiagos. Tuo pačiu metu, jis taip pat gali atlikti reaktyvų purškimą, kad gautų sudėtines medžiagas, tokias kaip oksidai, nitridai, ir karbidai..Jei radijo dažnio dažnis padidinamas, jis tampa mikrobangų plazmos purškimu. Dabar, elektronų ciklotrono rezonansas (ECR) dažniausiai naudojamas mikrobangų plazmos purškimas..

Gal ir tau patinka

  • Kategorijos

  • Naujausios naujienos & Tinklaraštis

  • Pasidalink su draugu

  • BENDROVĖ

    „Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalio Niobium Metal Material Co.“, Ltd. yra Kinijos įmonė, kuri specializuojasi spalvotųjų metalų perdirbime, aptarnauja pasaulinius klientus aukštos kokybės produktais ir puikiu aptarnavimu po pardavimo.

  • Susisiekite su mumis

    Mobilus:86-400-660-1855
    Paštu:[email protected] aliyun.com
    Žiniatinklis:www.chn-ti.com