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대면적 코팅 생산에 대한 스퍼터링 목표 순도 및 재료 균일성의 영향

2021年10月10日

대상 물질의 코팅 편집자는 이전에 언급되었습니다., 스퍼터링 과정에서, 대상 소재의 품질은 기존 소재 산업의 품질보다 높습니다.이 기사에서, 편집기는 대면적 코팅에 대한 대상 물질의 순도 및 물질 균일성의 영향을 계속 소개할 것입니다.. 오셔서 배워보세요~

스퍼터링 타겟 물질의 순도는 코팅할 필름의 성능에 더 큰 영향을 미칩니다. 깨끗한 유리가 고진공 코팅 챔버에 들어갈 때, 타겟 물질의 순도가 충분하지 않은 경우, 타겟 물질의 불순물 입자는 전기장 및 자기장의 작용하에 스퍼터링 공정 중에 유리 표면에 부착됩니다.. 분리 현상이 확고하게 나타납니다. 따라서, 타겟의 순도가 높을수록, 증착된 필름의 더 나은 성능.

열전도율이 낮은 타겟용, SiA1 표적과 같은, 타겟에 불순물이 있으면 열 전달이 차단되는 경우가 많습니다., 또는 생산에 사용된 냉각수 온도와 실제 코팅 라인 수온의 차이, 등., 사용 중 대상에 균열이 발생합니다.. 사소한 균열은 코팅 생산에 큰 영향을 미치지 않습니다. 그러나, 대상 물질에 명백한 균열이 있는 경우, 균열 부분의 가장자리에 전하가 집중되기 매우 쉽습니다., 대상 표면에 비정상적인 방전이 발생합니다. 방전 현상으로 인해 슬래그 드롭이 발생합니다., 비정상적인 막 형성, 및 증가된 제품 스크랩.따라서, 대상을 준비하는 과정에서, 순도 조절 뿐만 아니라, 준비 과정 조건도 통제되어야 합니다.

합금 타겟용, 불균일한 재료 분포가 자주 발생합니다., SiAl 타겟의 알루미늄 덩어리와 같은, 아연-알루미늄 타겟에서 알루미늄의 분리 (알루미늄의 원자량은 27 아연의 원자 질량보다 작은 65, 알루미늄은 주입 후 냉각 과정에서 냉각됩니다.. 떠오를 것이다, 한 면은 알루미늄 함량이 높고 한 면은 낮음).녹는점이 낮아서, SiA1 타겟의 응집된 Al은 스퍼터링 성막 공정 중에 드로스가 발생하기 쉽습니다., 분무 과정에서 추가되는 A1의 양은 확실합니다.. 응집의 일부가 발생할 때, 다른 위치의 알루미늄 함량이 적음을 나타냅니다., SiA1 표적에 영향을 미치는. 필름의 열전도도 및 전기전도도, 결과적으로 일관되지 않은 스퍼터링 속도, 불량한 필름 균일성, 대상 물질의 균열, 표적 방전 현상 악화, 또한 필름 형성의 품질을 감소시킵니다. 타겟 성분의 분리는 스퍼터링 속도에 영향을 미칩니다. (필름 균일성) 및 필름 구성. 따라서, 타겟 물질의 순도를 제어하는 ​​것 외에도, 합금 타겟의 재료 분포도 매우 중요합니다..

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