스퍼터링 타겟

다층 광학 코팅기의 기술 파라미터 목록

모델

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

도장실 사이즈

Ф1050×1250, 304 스테인레스 스틸.

Ф800×1000

Ф900×1050

Ф1200×1250

코팅 캐비티의 내부 크기

고정 브래킷은 지상에서 1680mm입니다., 인체공학적 작업 높이에 적합.

고정 브래킷은 지상에서 1468mm입니다., 인체공학적 작업 높이에 적합.

고정 브래킷은 지상에서 1510mm입니다., 인체공학적 작업 높이에 적합.

1.아치형 단일 공작물 디스크, 고객을 만나기 위해’ 균일성이 더 필요합니다. 회전 5-30r/min, 무단 변속.

2.아치형 3피스 디스크, 행성의 공전과 자전, 생산 능력에 대한 고객의 요구를 최대한 충족시키기 위해. 회전 5-30r/min, 무단 변속.

고정물

네 조각으로 제공, 브래킷 각도 조절 가능, 균일성에 대한 고객의 요구를 더 많이 충족시키기 위해. 회전 5-30r/min, 무단 변속.

아치형 단일 공작물 디스크, 고객을 만나기 위해’ 균일성이 더 필요합니다. 회전 5-30r/min, 무단 변속.

진공 시스템

단위: 확산 펌프 DIP-12000 (레이볼트), 루츠 펌프 ZJY-300, 기계식 펌프 2X-70, 유지 보수 펌프 2X-8. 파이프라인은 304 스테인레스 스틸.

단위: 확산 펌프 KT-400 (전화), 루츠 펌프 ZJY-150, 기계식 펌프 2X-70, 유지 보수 펌프 2X-8.

단위: 확산 펌프 KT-600 (전화), 루츠 펌프 ZJY-600, 기계식 펌프 2X-70, 유지 보수 펌프 2X-8.

단위: 확산 펌프 KT-800 (전화), 루츠 펌프 ZJY-600, 기계식 펌프 2X-70, 유지 보수 펌프 2X-8.

궁극의 진공: 4×10-4 Pa보다 우수.

난류 방지 장치 장착, 안전 연동 설계, 수동 및 자동 옵션.

난방 시스템

가열 튜브의 가열 방법, PID 제어, 최대 350℃±1.5℃.

작동 가스 인플레이션

가스 질량 유량 제어 기기 또는 팽창 밸브의 수동 미세 조정.

진공 이온화 충격

DC 3KV, 06KW 막대 음극 (코팅하기 전에 공작물을 청소하는 데 사용).

증발원 (선택 과목)

1. TELEMARK-270° 전자총 (수입), 6KW, 고전압 4KV-10KV 조정 가능. 포지셔닝 스캔, 삼각파 스캔, 원형 스캔, 나선형 스캔. 좋은 빔 스폿 포커싱, 높은 위치 정확도, 및 우수한 스캐닝 재현성.

2. 국산 전자총 (전화): 6KW, 조정가능한 고전압 4KV~8KV, 삼각파를 선택할 수 있습니다, 사인파, 구형파 스캔 자유.

3. 도가니: 6-캐비티 Φ38×20 도가니 또는 4-캐비티 Φ38×20 및 중심 호 길이가 1개 캐비티 호형 도가니 87 (저 융점 증발 재료의 높은 소비에 사용) 또는 4-캐비티 Φ48×18 도가니.

이온 소스 (선택 과목)

1. RF (무선 주파수) 이온 소스 (수입).

2. 5KVA 홀 이온 소스 (Zhenhua에서 제작), 전기도금 전 세척 또는 전기도금 공정에서 보조도금에 사용, 필름의 굴절률을 향상시키는 데 유리합니다., 견고함, 필름의 밀도와 접착력.

막 두께 제어 시스템 (선택)

1. MDC-360 크리스탈 컨트롤러 (수입) 자동 코팅 공정의 1~99개의 층을 저장할 수 있습니다, 99 프로그램 데이터의 종류, 정확성 0.5%+1? 오류 수정.2TELEMARK-880 크리스탈 컨트롤러 (수입): 자동 코팅 공정의 1~99개의 층을 저장할 수 있습니다, 99 프로그램 데이터의 종류입니다.精度0.5%+1? 오류 수정.

3. TELEMARK-820 광학 컨트롤러 (수입): 다중 파장 전체 스펙트럼 종점 분석 기술 채택, 투과율을 분석하여 영화의 끝을 판단합니다. (또는 반사율) 모니터 시트의 곡선 370-870 mm. 높은 제어 정확도, 단일 파장 제어, 자동 제어 및 수동 제어도 사용할 수 있습니다. 추가 MACILEOD 필름 계산 소프트웨어, 높은 수준의 통합.

4. TELEMARK-820 광학 컨트롤러 및 TELEMARK-880 크리스탈 컨트롤러는 고정밀 및 높은 반복성 코팅 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 호스트 컴퓨터와 협력하여 완전 자동 제어를 실현합니다..

5. 국내 광제어기 (~와 같은 9704 일치하는 단색기, 등.), 파장은 에서 조정 가능합니다 330 NS 870, 정확도는 ±1.5nm에 도달할 수 있습니다..

전달자

마그네틱 베이스 포함, 진공 챔버 도어 및 제어 캐비닛의 모든 위치에 놓을 수 있습니다..

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