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새로운 형태의 티타늄-알루미늄 합금 타겟 제조 방법

2021年10月10日

현재, 세계의 주요 스퍼터링 타겟 제조 공장은 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟의 제조를 위해 두 가지 다른 방법을 사용합니다. 스프레이 성형으로 제작되었습니다. 알려진 주조/단조 방법에 관한 한, 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟 생산 중, 합금 원소의 추가는 종종 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟의 분리를 유발합니다., 이는 차례로 스퍼터링 필름의 품질을 더 나쁘게 만들고 스퍼터링 타겟의 표면은 미세 입자를 생성하는 경향이 있습니다., 이는 또한 필름 특성의 균일성에 영향을 미칩니다.. 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟이 공지된 스프레이 성형 방법으로 만들어진 경우, 위에서 언급한 관련 단점을 피할 수 있지만, 그것은 스퍼터링 타겟을 만들 것입니다 생산 비용이 크게 증가합니다, 특히 위조가 쉽지 않고 핫 이퀄라이제이션을 사용해야 하는 일부 스퍼터링 타겟을 만들 때, 핫 이퀄라이제이션 사용으로 인해 비용이 증가합니다..

티타늄-알루미늄 합금 타겟의 생산 공정을 보다 쉽고 저렴하게 만들기 위해, 다음은 가스 스프레이 파우더로 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 만드는 방법입니다.. 스퍼터링 타겟의 원료 분말과 비교, 합금 분말을 체질하여 적절한 분말 입자 크기를 얻습니다., 마지막으로 분말은 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 만들기 위해 진공 핫 프레스됩니다. 에어 스프레이 분말로 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 만드는 이 방법은 다양한 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟의 생산에 적용될 수 있습니다. (알루미늄-크롬, 알루미늄-실리콘-구리, 알루미늄-티타늄, 등.). 선호하는 구현 단계는: 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 만들기 위한 금속 원료 제공 및 용융 금속; 그 다음에, 용융 금속에서 금속 분말을 만들기 위해 가스 스프레이 방식을 사용합니다.; 마지막으로, 진공으로 금속 분말을 가열하여 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟 재료로 형성, 불활성 가스를 차폐 가스로 통과시킵니다. 이 방법은 재료 분리 및 미립자의 단점을 피할 수 있습니다., 고품질 스퍼터링 타겟을 더 빠르고 저렴하게 만듭니다..

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