PVD 코팅된 티타늄 알루미늄 스퍼터링 타겟의 제조 및 적용

티타늄 알루미늄 합금 타겟을 생산하기 위해 전통적으로 사용되는 주조 방법 및 분말 야금 방법.

티타늄 알루미늄 합금 타겟의 주조 방법은 다공성과 수축을 피할 수 없습니다.. 대형 티타늄 알루미늄 주조 파이프 및 잉곳은 회전 튜브 대상을 만들 때 밀봉 및 방수 효과를 보장할 수 없습니다., 튜브 벽이 에칭됨에 따라, 벽 두께 변경 얇은, 연결된 구멍이 있는 한 느슨하고 수축되는 구멍, 밀봉이 더 나빠질 것입니다, 더 가벼운 것들은 누출 될 것입니다, 대상 튜브가 방전되기 시작합니다, 또는 다량의 불순물이 반응에 참여하여 필름이 떨어지거나 색상이 틀리게 됩니다..심각한 경우, 수축 캐비티에서 진공 챔버로 물을 직접 주입, 실제 캐비티와 진공 장치를 오염시킬 것입니다..

분말 야금 공정 생산티타늄 알루미늄 타겟기공 및 수축의 문제 없음, 그러나 분말 야금의 미시적 관점에서, 그것은 또한 다공성 물질입니다, 그래서 당신이 만들고 싶다면티타늄 알루미늄 회전 튜브 타겟, 재료 소형화에 대한 요구 사항은 매우 엄격합니다., 밀도는 다음보다 커야 합니다. 98%, 그러나 밀도 요구 사항을 충족한다고해서 사용할 수있는 것은 아닙니다. 티타늄 알루미늄 잉곳의 산소 함량이 높고 미세 구조가 불합리한 경우, 티타늄 알루미늄 잉곳의 내부 응력이 큽니다., 그리고 무너지기 쉽다, 회전하는 튜브 타겟으로 사용할 수 없습니다.. 그러므로, 분말 생산 ​​및 입자 크기 비율에 대한 많은 요구 사항이 있습니다. 이러한 조건이 충족되더라도, 분말 야금 티타늄 알루미늄 링은 스테인레스 스틸 튜브 또는 티타늄 튜브에 묶어야합니다.. 티타늄 알루미늄의 큰 열팽창 계수로 인해, 스퍼터링 중에 국부 타겟 팽창이 0에 도달할 수 있습니다.5~1m, 따라서 잉곳을 묶는 전통적인 방법은 이 문제를 효과적으로 해결할 수 없습니다.. 티타늄과 알루미늄 결합 잉곳의 분리가 발생합니다., 타겟 표면의 열에너지는 전도되지 않고 파열됩니다. 그러나, 긴밀한 일치 결합은 신뢰할 수 없습니다., 플라즈마 분사된 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 품질이 좋지 않습니다..

시계의 장식 코팅 로즈 골드, 보석류, 안경 산업. 최근에, 많은 요구 사항은 탄소를 포함하지 않으며 기본 로즈 색상을 얼굴 로즈 골드에 가깝게 만듭니다..우리의 의견으로는, TiCN은 더 이상 요구 사항을 충족할 수 없습니다.. TiAlN은 가장 완벽한 솔루션입니다.. 저가 시계 보석에는 필름 두께와 광택에 대한 요구 사항이 없습니다.. 그들 대부분은 TiAlN을 증착하기 위해 아크 티타늄 알루미늄 타겟을 사용합니다.. 고급 브랜드 시계는 1um 이상의 두께와 광택이 필요합니다.. 떨어뜨릴 수 없습니다. 아크는 물방울의 영향을 받으며 매끄럽고 두꺼운 필름에는 이점이 없습니다.에서오켈리현재 공급 주문의 피드백에서 더 나은 방법은 회전하는 튜브 타겟으로 TiAIN을 증착하는 것임을 알 수 있습니다., 색상이 로즈골드에 가까울 뿐만 아니라, 그러나 두께가 증가된 후에도 광택은 영향을 받지 않습니다..