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텅스텐-티타늄 스퍼터링 타겟의 새로운 터닝 방법

20219월 17일,

텅스텐-티타늄 타겟의 새로운 터닝 방법

텅스텐 티타늄 대상분말 야금 공정용으로 제작되었습니다. 일반적인 텅스텐-티타늄 초경합금 재료는 표면 품질을 보장하기 위해 연삭 방법으로 처리할 수 있습니다. 그러나, 텅스텐-티타늄 타겟의 가공은 원호 또는 불규칙한 모양의 가공을 포함해야 합니다., 그라인딩 방법은 호나 테이퍼가 있는 형상을 가공하기 어렵습니다.따라서, 텅스텐-티타늄 타겟은 회전으로만 처리할 수 있습니다. 그러나, 한편으로는, 텅스텐은 실온에서 부서지기 쉽습니다., 분말 형태로, 그리고 경도가 높다; 반면에, 티타늄 합금은 강도가 높고 경도가 높습니다., 티타늄이 분말 형태일 때, 연소하기 쉽습니다. 텅스텐 티타늄 타겟은 위의 두 가지 특성을 결합합니다. 위의 이유는 텅스텐 티타늄 타겟 재료를 선삭 및 가공할 때 큰 장비 전력의 요구 사항으로 이어집니다., 금형과 도구는 높은 강도와 ​​경도를 가져야 합니다. 이 기사에서는 텅스텐-티타늄 타겟의 새로운 터닝 방법을 소개합니다..

이 텅스텐-티타늄 타겟 재료의 터닝 방법은 를 포함하는 것을 특징으로 한다.: 텅스텐-티타늄 타겟 재료 및 백킹 플레이트 제공; 텅스텐-티타늄 타겟 재료와 백킹 플레이트를 함께 용접하여 텅스텐-티타늄 타겟 어셈블리를 형성; 첫 번째 도구 사용 텅스텐-티타늄 타겟 어셈블리에서 텅스텐-티타늄 타겟의 첫 번째 터닝 수행, 첫 번째 도구의 절삭날 끼인각은 80°입니다.; 첫 번째 회전 후, 텅스텐-티타늄 타겟 어셈블리의 백 플레이트가 처리됩니다.; 텅스텐-티타늄 타겟 어셈블리의 백 플레이트가 처리된 후, 두 번째 도구는 텅스텐-티타늄 타겟의 블랭크에서 두 번째 터닝을 수행하는 데 사용됩니다., 두 번째 도구 절삭 날 각도는 35°입니다.?55°. 최종 텅스텐 - 티타늄 대상 제품의 품질이 좋은지 확인하십시오., 그리고 동시에, 이 방법은 도구의 마모를 효과적으로 늦추고 도구의 수명을 연장할 수 있습니다..

 

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