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Sputtering 후 Target Half의 Poisoning 및 Blackening 문제 분석

20218월 31일

 

질문: 반응성 마그네트론 스퍼터링 기술은 질화 지르코늄 필름을 증착합니다., 목표는 2인치, 스퍼터링 가스는 아르곤, 반응성 가스는 N2, 전력은 300W입니다, 무선 주파수 전원 공급 장치, 입금은 2시간, 완료 후 대상을 꺼냅니다.. 제목에 설명된 현상을 봐, 표적 중독이든 다른 이유든, 하지만 왜 절반만 나타나는지?

이유 분석 1: 무선 주파수 전력의 도입과 관련이 있을 수 있습니다.

이유 분석 2: 그런 작은 목표, 2인치?냉각 유니폼인가?

이유 분석 3: 300이렇게 작은 타겟에 W파워가 더해져, 쿨링이 유지될 수 있습니다 쿨링이 잘 안되는게 의심됩니다, 블랙의 절반을 일으키는!

이유 분석 4: 냉각 부족. 온도가 너무 높습니까??

이유 분석 5: 높은 전력과 관련이 있을 수 있습니다.. 나는 감히 직경 1의 ​​목표물의 위력을 증가시킬 뿐입니다. 60 약 100W까지.

원인 분석 6: 전원 공급 장치가 2시간 동안 안정적입니까?에너지가 너무 높은 것일 수 있습니다., 또는 대상의 측면이 접지된 구성 요소에 닿을 수 있습니다.

이유 분석 7: 기밀성에 문제가 있는 것으로 의심됨, 개인적으로 생각

해결책 1: 제안 1) 가스 균일성 확인; 2) 한쪽에 에어누설이 있는지 없는지?

해결책 2: XPS 분석을 수행하는 것이 좋습니다., 다시 실험을 하거나.

요약: 위의 분석을 바탕으로, 대상이 중독되고 검은색이 되는 주요 원인은 지나치게 높은 온도입니다., 불안정한 전원 공급 장치, 가스 균일성 및 기밀성. 이러한 가능한 주요 원인을 확인하십시오., 단계별로 문제를 해결하고.

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