우리 웹사이트에 오신 것을 환영합니다
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

산업 뉴스

» 소식 » 산업 뉴스

원통형 및 평면 마그네트론 스퍼터링 타겟의 장점

2021年10月19日

다른 형태의 마그네트론 스퍼터링 타겟과 비교, 원통형 및 평면 마그네트론 스퍼터링 타겟은 직사각형 평면 타겟에 대해 우수한 코팅 균일성의 이점을 유지합니다., 다음 두 가지 방법을 통해 목표 물질을 극대화할 수 있습니다.:

(1) 두 그룹이 (네) 목표 표면의 링 모양 피트 중 특정 깊이에 도달, 타겟 코어 (자석 부분) 타겟 튜브에 대해 45° 회전 가능, 부식되지 않은 타겟 튜브의 다른 영역을 사용할 수 있도록

(2) 원통형 및 평면형 마그네트론 스퍼터링 타겟의 타겟 코어를 회전 타겟 코어로 설계한 경우, (타겟 코어는 스퍼터링 중에 회전합니다.), 타겟 재료의 표면은 층별로 균일하게 스퍼터링될 수 있습니다., 구덩이가 없을 것입니다. 이때, 목표 재료가 가장 효과적으로 사용됩니다., 그리고 목표 물질의 활용률은 도달할 수 있습니다 50% NS 60%. 대상 물질이 귀금속 물질인 경우, 이것은 의심할 여지 없이 큰 의미가 있습니다..

끝 자기장의 문제를 해결하기 위해 동축 원통형 마그네트론 스퍼터링 타겟에 자석과 슈의 원리를 채택함으로써, 직사각형 평면 타겟은 원통형으로 진화할 수 있습니다., 평면 마그네트론 스퍼터링 타겟, 직사각형 평면 타겟의 코팅을 유지합니다. 균일성이 좋은 경우, 타겟 물질의 활용률을 극대화할 수 있습니다., 따라서 경제적 이익을 향상.

어쩌면 당신도 좋아

  • 카테고리

  • 최근 뉴스 & 블로그

  • 친구에게 공유

  • 회사

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., 주식회사. 비철금속 가공을 전문으로 하는 중국 기업입니다., 고품질 제품과 완벽한 애프터 서비스로 글로벌 고객에게 서비스 제공.

  • 문의하기

    이동하는:86-400-660-1855
    이메일:[email protected] aliyun.com
    편물:www.chn-ti.com