សូមស្វាគមន៍មកកាន់គេហទំព័ររបស់យើង។
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

ព័ត៌មានឧស្សាហកម្ម

» ព័ត៌មាន » ព័ត៌មានឧស្សាហកម្ម

គោលការណ៍នៃម៉ាញ៉េទ្រី sputtering គោលដៅ sputtering

2021៣១ សីហា

 

គោលការណ៍នៃការបញ្ចោញម៉ាញ៉េទិចគោលដៅ:

វាលម៉ាញេទិកអ័រតូហ្គោលនិងវាលអគ្គីសនីត្រូវបានបន្ថែមរវាងគោលដៅដែលផ្ទុះឡើង (cathode) និង anode, និងឧស្ម័នអសកម្មដែលត្រូវការ (ជាធម្មតាឧស្ម័នហ្គាស) ត្រូវបានបំពេញនៅក្នុងបន្ទប់ទំនេរខ្ពស់. ទំរង់មេដែកអចិន្រ្តៃយ៍ 250-350 នៅលើផ្ទៃនៃសម្ភារៈគោលដៅ. វាលម៉ាញេទិកហ្គូសៀន, ហើយវាលអគ្គីសនីដែលមានតង់ស្យុងខ្ពស់បង្កើតបានជាវាលអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច.

នៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គីសនី, ឧស្ម័នហ្គាសបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងនិងអេឡិចត្រុងវិជ្ជមាន. តង់ស្យុងខ្ពស់អវិជ្ជមានជាក់លាក់មួយត្រូវបានអនុវត្តចំពោះគោលដៅ. អេឡិចត្រុងដែលបញ្ចេញពីគោលដៅត្រូវបានប៉ះពាល់ដោយវាលម៉ាញេទិកហើយប្រូបាបអ៊ីយ៉ូដនៃឧស្ម័នដែលកំពុងធ្វើការកើនឡើង, បង្កើតប្លាស្មាដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៅជិត cathode. នៅក្រោមសកម្មភាពរបស់កម្លាំងឡូរ៉េនស, អ៊ីយ៉ុងអ៊ីនបង្កើនល្បឿនទៅលើផ្ទៃគោលដៅហើយទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃគោលដៅក្នុងល្បឿនលឿន, ដូច្នេះអាតូមដែលហៀរចេញពីគោលដៅធ្វើតាមគោលការណ៍នៃការបម្លែងសន្ទុះហើយហោះចេញពីផ្ទៃគោលដៅដោយថាមពលគីនេទិកខ្ពស់. ការដាក់ស្រទាប់ខាងក្រោមទៅក្នុងខ្សែភាពយន្ត.

ម៉ាញ៉េទ្រីនស្ពឺជាទូទៅត្រូវបានបែងចែកជាពីរប្រភេទ: ការបញ្ច្រាស់ដៃទន្លេនិងការបញ្ច្រាស់រលកវិទ្យុ. គោលការណ៍នៃឧបករណ៍បញ្ចោញដៃទន្លេគឺសាមញ្ញ, ហើយអត្រារបស់វាក៏លឿនផងដែរនៅពេលដែលស្ពាយលោហធាតុ។ ជួរនៃការប្រើប្រេកង់វិទ្យុ sputtering គឺទូលំទូលាយជាង. បន្ថែមពីលើសម្ភារៈស្ពាន់ធ័រ, សមា្ភារៈដែលមិនមានចរន្តអគ្គិសនីក៏អាចបញ្ចោញបានដែរ. ក្នុង​ពេល​ដំណាលគ្នា, វាក៏អាចធ្វើឱ្យមានប្រតិកម្មឡើងវិញដើម្បីរៀបចំសម្ភារៈផ្សំដូចជាអុកស៊ីដ, នីទ្រីដ, និង carbides .. ប្រសិនបើប្រេកង់នៃប្រេកង់វិទ្យុត្រូវបានកើនឡើង, វាក្លាយជាប្លាស្មាមីក្រូវ៉េវ. នៅ​ពេល​បច្ចុប្បន្ន, អេឡិចត្រុងស៊ីក្លូត្រូរ៉ុនអនុភាព (ECR) ប្រភេទមីក្រូវ៉េវផ្លាស្មាត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅ។.

ប្រហែលជាអ្នកចូលចិត្តផងដែរ។

  • ប្រភេទ

  • ព័ត៌មានថ្មីៗ & ប្លុក

  • ចែករំលែកទៅមិត្ត

  • ក្រុមហ៊ុន

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., អិលធីឌី. គឺជាសហគ្រាសចិនដែលមានឯកទេសក្នុងការកែច្នៃលោហធាតុដែលមិនមែនជាជាតិដែក, បម្រើអតិថិជនទូទាំងពិភពលោកជាមួយនឹងផលិតផលដែលមានគុណភាពខ្ពស់ និងសេវាកម្មបន្ទាប់ពីការលក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ.

  • ទាក់ទង​មក​ពួក​យើង

    ចល័ត:86-400-660-1855
    អ៊ីមែល:[email protected] aliyun.com
    គេហទំព័រ:www.chn-ti.com