ការផលិតនិងការអនុវត្តគោលដៅអាលុយមីញ៉ូមអាលុយមីញ៉ូមស្រោបដោយថ្នាំ PVD ដែលមានថ្នាំកូត PVD

ជាប្រពៃណីត្រូវបានគេប្រើវិធីសាស្រ្តដេញនិងវិធីសាស្រ្តលោហធាតុម្សៅដើម្បីផលិតគោលដៅអាលុយមីញ៉ូមអាលុយមីញ៉ូមទីតាន.

វិធីសាស្រ្តនៃការបញ្ចោញគោលដៅអាលុយមីញ៉ូមអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូមមិនអាចជៀសផុតពីភាពផុយស្រួយនិងការរួញតូច. បំពង់អាលុយមីញ៉ូមអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូមដែលមានទំហំធំមិនអាចធានាការផ្សាភ្ជាប់និងការជ្រាបទឹកនៅពេលដែលធ្វើឱ្យបំពង់គោលដៅវិល, ហើយដូចជាជញ្ជាំងបំពង់ត្រូវបានឆ្លាក់, កម្រាស់ជញ្ជាំងផ្លាស់ប្តូរស្តើង, រន្ធរលុងនិងរួញតូចដរាបណាមានរន្ធតភ្ជាប់, ការផ្សាភ្ជាប់នឹងកាន់តែអាក្រក់ទៅ ៗ, ស្រាល ៗ នឹងលេចធ្លាយ, បំពង់គោលដៅនឹងចាប់ផ្តើមហូរចេញ, ឬភាពមិនបរិសុទ្ធមួយចំនួនធំនឹងចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មហើយបណ្តាលឱ្យខ្សែភាពយន្តធ្លាក់ចុះឬពណ៌ខុស។ ក្នុងករណីធ្ងន់ធ្ងរ, ទឹកត្រូវបានចាក់ដោយផ្ទាល់ពីបែហោងធ្មែញរួញតូចទៅបន្ទប់ទំនេរ, ដែលនឹងបំពុលបែហោងធ្មែញពិតនិងអង្គភាពបូមធូលី.

ការផលិតដំណើរការលោហធាតុម្សៅគោលដៅទីតានអាលុយមីញ៉ូមមិនមានបញ្ហារន្ធញើសនិងរួញតូចទេ, ប៉ុន្តែពីចំណុចមីក្រូទស្សន៍នៃទិដ្ឋភាពលោហធាតុម្សៅ, វាក៏ជាសម្ភារៈរអិលផងដែរ, ដូច្នេះប្រសិនបើអ្នកចង់ធ្វើគោលដៅបំពង់បង្វិលអាលុយមីញ៉ូមទីតាន, តម្រូវការសម្រាប់ការបង្រួមសម្ភារៈគឺតឹងរឹងណាស់, ដង់ស៊ីតេត្រូវតែធំជាង 98%, ប៉ុន្តែការបំពេញតាមតម្រូវការដង់ស៊ីតេមិនមានន័យថាវាអាចប្រើបានទេ។, ភាពតានតឹងផ្នែកខាងក្នុងនៃអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូមមានទំហំធំ, ហើយវាងាយស្រួលដួលរលំ, ហើយវាមិនអាចប្រើជាគោលដៅបំពង់បង្វិលបានទេ. ហេតុនេះ, មានតម្រូវការជាច្រើនសម្រាប់ការផលិតម្សៅនិងសមាមាត្រទំហំភាគល្អិត។ ទោះបីជាលក្ខខណ្ឌទាំងនេះត្រូវបានបំពេញក៏ដោយ, ចិញ្ចៀនអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូមលោហធាតុម្សៅត្រូវការភ្ជាប់ទៅនឹងបំពង់ដែកអ៊ីណុកឬបំពង់ទីតាន. ដោយសារតែមេគុណពង្រីកកំដៅដ៏ធំនៃអាលុយមីញ៉ូមទីតាន, ការពង្រីកគោលដៅក្នុងស្រុកអាចឈានដល់សូន្យក្នុងកំឡុងពេលបាញ់ផ្លោង ..5 ～ 1m, ដូច្នេះវិធីសាស្រ្តប្រពៃណីនៃការផ្សាភ្ជាប់ដែកមិនអាចដោះស្រាយបញ្ហានេះប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពឡើយ. ការបំបែកដែកភ្ជាប់ទីតាននិងអាលុយមីញ៉ូមកើតឡើង, ហើយថាមពលកំដៅនៃផ្ទៃគោលដៅមិនអាចដំណើរការបានទេ, ចំណងដែលត្រូវគ្នាយ៉ាងតឹងរឹងគឺមិនគួរទុកចិត្ត, ហើយគុណភាពផ្លាស្មាដែលបាញ់ថ្នាំអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូមគឺខ្សោយ។.

ថ្នាំកូតតុបតែងពណ៌ផ្កាឈូកបានកើនឡើងនៅក្នុងនាឡិកា, គ្រឿងអលង្ការ, និងឧស្សាហកម្មវ៉ែនតា. ថ្មីៗនេះ, តម្រូវការជាច្រើនមិនមានផ្ទុកកាបូននិងធ្វើឱ្យពណ៌ផ្កាឈូកដែលនៅជាប់នឹងមុខឡើងពណ៌មាសតាមគំនិតរបស់យើង, ធីស៊ីអិនមិនអាចបំពេញតម្រូវការបានទៀតទេ. TiAlN គឺជាដំណោះស្រាយដ៏ល្អឥតខ្ចោះបំផុត. គ្រឿងអលង្ការនាឡិកាកម្រិតទាបមិនមានតម្រូវការសម្រាប់កម្រាស់និងភាពរលោងនៃខ្សែភាពយន្តទេ. ពួកគេភាគច្រើនប្រើគោលដៅអាលុយមីញ៉ូមទីតានដើម្បីដាក់ប្រាក់ TiAlN. នាឡិកាម៉ាកល្បី ៗ តម្រូវឱ្យមានកម្រាស់លើសពី ១ មមនិងរលោង. មិនអាចទម្លាក់បានទេធ្នូត្រូវបានប៉ះពាល់ដោយដំណក់ទឹកហើយមិនមានអត្ថប្រយោជន៍នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តរលោងនិងក្រាស់ទេអូខេលីវាអាចមើលឃើញពីមតិយោបល់នៃការបញ្ជាទិញបច្ចុប្បន្នដែលជាវិធីល្អប្រសើរគឺដាក់ប្រាក់ធីអ៊ីនជាមួយគោលដៅបំពង់បង្វិល, មិនតែប៉ុណ្ណោះពណ៌គឺកាន់តែជិតទៅនឹងពណ៌ផ្កាឈូកមាស, ប៉ុន្តែភាពរលោងនឹងមិនត្រូវបានប៉ះពាល់ទេបន្ទាប់ពីកំរាស់ត្រូវបានកើនឡើង។.