Біздің сайтқа қош келдіңіз
..0086-18429179711 ..[email protected] aliyun.com

Өнеркәсіптік жаңалықтар

» Жаңалықтар » Өнеркәсіптік жаңалықтар

Нысаналы магнетронды шашырату принципі

2021年8月31日

 

Магнитронның шашырау принципі: ортогональды магнит өрісі мен шашыраған нысананың арасына электр өрісін қосыңыз (катод) және анод, және шашырататын нысана қажетті инертті газбен толтырылады (әдетте газ) жоғары вакуумдық камерада. Тұрақты магнит a құрайды 250-350 Мақсатты материалдың бетіндегі Гаусс магнит өрісі, және жоғары вольтты электр өрісі бар ортогональды электромагниттік өрісті құрайды..

Электр өрісінің әсерінен, Ар газы оң иондар мен электрондарға ионданады. Нысанға белгілі бір теріс жоғары кернеу қолданылады. Нысанадан шыққан электрондарға магнит өрісі әсер етеді және жұмысшы газдың иондалу ықтималдығы артады, катодтың жанында тығыздығы жоғары плазма түзеді. Лоренц күшінің әсерінен, Ар иондары нысанаға тез жетіп, нысанды жоғары жылдамдықпен бомбалайды, Нысаннан бөлініп шыққан атомдар импульс түрлендіру принципін ұстанады және жоғары кинетикалық энергиямен мақсатты беттен ұшып кетеді.. Қабықшаға субстраттың түсуі. Магнетронды шашырату әдетте екі түрге бөлінеді: Тұрақты токтың шашырауы және радио жиіліктің шашырауы. Тұрақты ток шашырататын жабдықтың жұмыс принципі қарапайым. Металл шашыраған кезде, оның жылдамдығы да жылдам..

Радиожиілікті шашыратудың қолдану ауқымы кеңірек. Өткізгіш материалдардың шашырауынан басқа, өткізбейтін материалдар да шашырауы мүмкін. Сонымен қатар, ол сондай -ақ оксидтер сияқты күрделі материалдарды дайындау үшін реактивті шашыратуды жүргізе алады, нитридтер, және карбидтер .. Нысанның радиожиілік жиілігі жоғарылағанда, ол микротолқынды плазманың шашырауына айналады. Қазіргі кезде, электронды циклотронды резонанс (ЭКР) микротолқынды плазмалық шашырату жиі қолданылады..

Мүмкін сізге де ұнайтын шығар

  • Санаттар

  • Соңғы жаңалықтар & Блог

  • Досыңызбен бөлісіңіз

  • КОМПАНИЯ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. -бұл түсті металдарды өңдеуге маманданған қытайлық кәсіпорын, жаһандық тұтынушыларға жоғары сапалы өнімдермен және сатудан кейінгі мінсіз қызмет көрсету.

  • Бізбен хабарласыңыз

    Ұялы телефон:86-400-660-1855
    Электрондық пошта:[email protected] aliyun.com
    желі:www.chn-ti.com