კეთილი იყოს თქვენი მობრძანება ჩვენს ვებგვერდზე
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

ინდუსტრიული სიახლეები

» ახალი ამბები » ინდუსტრიული სიახლეები

პრინციპი magnetron sputtering sputtering სამიზნე

2021年8月31日

 

სამიზნე მაგნეტრონის გაფრქვევის პრინციპი:

გაფანტულ სამიზნეს შორის დაემატება ორთოგონალური მაგნიტური ველი და ელექტრული ველი (კათოდური) და ანოდი, და საჭირო ინერტული გაზი (ჩვეულებრივ Ar გაზი) ივსება მაღალი ვაკუუმის პალატაში. იქმნება მუდმივი მაგნიტი 250-350 სამიზნე მასალის ზედაპირზე. გაუსის მაგნიტური ველი, და მაღალი ძაბვის ელექტრული ველი ქმნის ორთოგონალურ ელექტრომაგნიტურ ველს.

ელექტრული ველის მოქმედების ქვეშ, Ar გაზი იონიზირდება დადებით იონებად და ელექტრონებად. სამიზნეზე გამოიყენება გარკვეული უარყოფითი მაღალი ძაბვა. სამიზნედან გამოსხივებული ელექტრონები გავლენას ახდენს მაგნიტური ველით და იზრდება სამუშაო აირის იონიზაციის ალბათობა, წარმოქმნის მაღალი სიმკვრივის პლაზმას კათოდთან ახლოს. ლორენცის ძალის მოქმედებით, Ar იონები აჩქარებენ სამიზნე ზედაპირს და დაბომბავს სამიზნე ზედაპირს დიდი სიჩქარით, ისე რომ სამიზნედან ამოვარდნილი ატომები დაიცვან იმპულსის გარდაქმნის პრინციპს და გაფრინდებიან სამიზნე ზედაპირიდან უფრო მაღალი კინეტიკური ენერგიით. სუბსტრატის გადატანა ფილმში.

Magnetron sputter ზოგადად იყოფა ორ ტიპად: შენაკადი sputtering და რადიოსიხშირული sputtering. შენაკადების გაფრქვევის აღჭურვილობის პრინციპი მარტივია, და მისი სიჩქარე ასევე სწრაფია ლითონების გაფრქვევისას .. რადიოსიხშირული გაფრქვევის გამოყენების დიაპაზონი უფრო ვრცელია. გარდა sputtering გამტარ მასალები, არაგამტარი მასალები ასევე შეიძლება გაფანტული იყოს. Ამავე დროს, მას ასევე შეუძლია განახორციელოს რეაქტიული გაფრქვევა რთული მასალების მოსამზადებლად, როგორიცაა ოქსიდები, ნიტრიდები, და კარბიდები..თუ რადიოსიხშირის სიხშირე გაიზარდა, ის ხდება მიკროტალღური პლაზმის გაფრქვევა. Ამჟამად, ელექტრონული ციკლოტრონის რეზონანსი (ECR) ჩვეულებრივ გამოიყენება მიკროტალღოვანი პლაზმის გაფრქვევა..

იქნებ თქვენც მოგწონთ

  • კატეგორიები

  • უახლესი ამბები & ბლოგი

  • გაუზიარე მეგობარს

  • კომპანია

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., შპს. არის ჩინური საწარმო, რომელიც სპეციალიზირებულია ფერადი ლითონების დამუშავებაში, ემსახურება გლობალურ მომხმარებლებს მაღალი ხარისხის პროდუქციით და სრულყოფილი გაყიდვების შემდგომი მომსახურებით.

  • Დაგვიკავშირდით

    მობილური:86-400-660-1855
    ელექტრონული ფოსტა:[email protected] aliyun.com
    ვებ:www.chn-ti.com