平面ターゲットの主成分構造

メインプレーンターゲット:

高純度アルミニウムターゲットAl高純度銅ターゲットCu高純度鉄ターゲットFe高純度チタンターゲットTi高純度ニッケルターゲットNi

高純度マグネシウムターゲットMg高純度クロムターゲットCr高純度亜鉛ターゲットZn高純度銀ターゲットAg高純度コバルトターゲットCo

高純度ニオブターゲットNb高純度スズターゲットSn高純度インジウムターゲット高純度ジルコニウムターゲットZr高純度タンタルターゲットTa

高純度ゲルマニウムターゲットGe, 高純度シリコンターゲット, そして, 高純度タングステンターゲット, W, 高純度ハフニウムターゲット, Hf, 高純度イットリウムターゲット, Y

高純度ガドリニウムターゲットGd高純度サマリウムターゲットSm高純度ジスプロシウムターゲットDy高純度セリウムターゲットCe高純度ランタンターゲットLa

高純度金ターゲットAu高純度グラファイトターゲットC高純度セレンターゲットSe高純度モリブデンターゲットMo

高純度合金スパッタリングターゲット

二元合金ターゲット

ニッケルクロムターゲットNi-Crニッケル鉄ターゲットNi-FeニッケルコバルトターゲットNi-CoニッケルジルコニウムターゲットNi-ZrニッケルアルミニウムターゲットNi-Alニッケル銅ターゲットNi-CuニッケルバナジウムターゲットNi-V銅インジウムターゲットCu-In銅ガリウムターゲットCu-Ga銅セレンターゲットCu-SeチタンアルミニウムターゲットTi-AlアルミニウムシリコンターゲットAl-Siアルミニウム銅ターゲットAl-CuアルミニウムチタンターゲットAl-TiアルミニウムマグネシウムターゲットAl-Mg銀銅ターゲットAg-Cu鉄マンガンターゲットFe -MnインジウムスズターゲットIn-Snコバルト鉄ターゲットCo-FeタングステンチタンターゲットW-Ti亜鉛アルミニウムターゲットZn-AlアルミニウムスカンジウムターゲットAl-Sc銅スズターゲットCu-SnジルコニウムアルミニウムターゲットZr-Alジルコニウム鉄ターゲットZr-FeジルコニウムシリコンターゲットZr-SiバナジウムアルミニウムターゲットV-Alホウ素鉄ターゲットB-Fe

多元素合金ターゲット

コバルト鉄ホウ素ターゲットCo-Fe-B銅インジウムガリウムターゲットCu-In-Ga銅インジウムガリウムセレンターゲットCu-In-Ga-Se, 等.