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新しいタイプのチタン-アルミニウム合金ターゲットの製造方法

2021年10月10日

現在のところ, 世界の主要なスパッタリングターゲット製造工場は、アルミニウム合金スパッタリングターゲットの製造に2つの異なる方法を使用しています. スプレー成形で作られています。既知の鋳造/鍛造方法に関する限り, アルミニウム合金スパッタリングターゲットの製造中, 合金元素の添加は、しばしばアルミニウム合金スパッタリングターゲットの分離を引き起こします, これにより、スパッタリング膜の品質が低下し、スパッタリングターゲットの表面が微粒子を生成しやすくなります。, これは、フィルム特性の均一性にも影響します. アルミニウム合金スパッタリングターゲットが既知のスプレー成形方法で製造されている場合, 上記の関連する不利な点は回避できますが, スパッタリングターゲットになります生産コストが大幅に増加します, 特に、鍛造が容易ではなく、ホットイコライゼーションを使用する必要があるいくつかのスパッタリングターゲットを作成する場合, ホットイコライゼーションを使用するため、コストが増加します.

チタン-アルミニウム合金ターゲットの製造プロセスをより簡単かつ低コストにするために, これがガススプレー粉末でアルミニウム合金スパッタリングターゲットを作る方法です. スパッタリングターゲットの原料粉末との比較, 合金粉末をふるいにかけて、適切な粉末粒子サイズを得る, 最後に粉末を真空ホットプレスしてアルミニウム合金スパッタリングターゲットを作成します。エアスプレー粉末を使用してアルミニウム合金スパッタリングターゲットを作成するこの方法は、さまざまなアルミニウム合金スパッタリングターゲットの製造に適用できます。 (アルミニウム-クロム, アルミニウム-シリコン-銅, アルミニウム-チタン, 等). 推奨される実装手順は次のとおりです。: アルミニウム合金スパッタリングターゲットを作成するための金属原料を提供し、それらを溶融金属に溶融します; それから, ガススプレー法を使用して、溶融金属から金属粉末を作成します; ついに, 金属粉末を真空で加熱するアルミニウム合金スパッタリングターゲット材料に成形, シールドガスとして不活性ガスを通過させます。この方法により、材料の分離と微粒子の欠点を回避できます。, 高品質のスパッタリングターゲットをより速く、より安価にします.

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