PVDコーティングされたチタンアルミニウムスパッタリングターゲットの製造と応用

チタンアルミニウム合金ターゲットを製造するために伝統的に使用されている鋳造法と粉末冶金法.

チタンアルミニウム合金ターゲットの鋳造方法では、気孔率と収縮を回避できません. 大型チタンアルミ鋳造パイプやインゴットは、回転管をターゲットにする際のシール効果や防水効果を保証できません。, チューブの壁がエッチングされると, 壁の厚さが変化する薄い, 接続されている穴がある限り、緩んで収縮する穴, シーリングが悪化します, 軽いものは漏れます, ターゲットチューブが放電を開始します, または、大量の不純物が反応に関与し、フィルムが落下したり、色が間違ったりします。, 水は収縮キャビティから真空チャンバーに直接注入されます, これは実際の空洞と真空ユニットを汚染します.

粉末冶金プロセスの製造チタンアルミニウムターゲット気孔率や収縮の問題はありません, しかし、粉末冶金の微視的観点から, 多孔質でもあります, だからあなたが作りたいならチタンアルミ回転管ターゲット, 材料のコンパクトさの要件は非常に厳しいです, 密度はより大きくなければなりません 98%, しかし、密度要件を満たすことは、それが使用できることを意味するわけではありません。チタンアルミニウムインゴットの酸素含有量が高く、微細構造が不合理である場合, チタンアルミインゴットの内部応力が大きい, 崩壊しやすい, 回転管ターゲットとしては使用できません. したがって、, 粉末の製造と粒子サイズの比率には多くの要件があります。これらの条件が満たされている場合でも, 粉末冶金チタンアルミニウムリングは、ステンレス鋼管またはチタン管に接続する必要があります. チタンアルミニウムの熱膨張係数が大きいため, スパッタリング中に局所的なターゲット膨張がゼロに達する可能性があります..5〜1m, したがって、インゴットをバインドする従来の方法では、この問題を効果的に解決できません。. チタンとアルミニウムの結合インゴットの分離が発生します, そして、ターゲット表面の熱エネルギーは伝導できず、破裂します。しかし, 緊密に一致する結合は信頼できません, プラズマ溶射されたチタンアルミニウム合金ターゲットの品質は悪い。.

時計の装飾コーティングローズゴールド, ジュエリー, およびアイウェア産業. 最近, 多くの要件はカーボンを含まず、さらに下にあるローズカラーをフェイスローズゴールドに近づけます。私たちの意見では, TiCNはもはや要件を満たすことができません. TiAlNは最も完璧なソリューションです. ローエンドの時計ジュエリーには、膜厚や光沢の要件はありません. それらのほとんどは、TiAlNを堆積するためにアークチタンアルミニウムターゲットを使用しています. ハイエンドブランドの時計は、1um以上の厚さと光沢が必要です. 落下できません。アークは液滴の影響を受け、滑らかで厚いフィルムには利点がありません。オケリー現在の供給順序のフィードバックから、回転するチューブターゲットにTiAINを堆積するのがより良い方法であることがわかります。, 色がローズゴールドに近いだけでなく, ただし、厚みを増しても光沢には影響しません。.