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スパッタリング後のターゲット半分の被毒と黒化の問題の分析

20218月31日

 

質問: 反応性マグネトロンスパッタリング技術が窒化ジルコニウム膜を堆積させる, ターゲットは2インチです, スパッタリングガスはアルゴンです, 反応性ガスはN2です, 電力は300Wです, 無線周波数電源, 堆積は2時間です, 完了後にターゲットが取り出されます. タイトルに記載されている現象を見てください, それが標的中毒であるか他の理由であるかどうか, しかし、なぜ半分しか表示されないのですか?

理由分析 1: それは無線周波数電力の導入に関連している可能性があります

理由分析 2: そのような小さなターゲット, 2インチ?冷却均一ですか?

理由分析 3: 300このような小さなターゲットにW電力が追加されます, 冷却が維持できますか冷却が悪いと思われます, 黒の半分を引き起こします!

理由分析 4: 冷却が不十分です。温度が高すぎませんか?

理由分析 5: ハイパワーに関係しているのかもしれません. 直径がのターゲットのパワーをあえて増やすだけです 60 約100Wまで.

原因分析 6: 電源は2時間で安定していますかエネルギーが高すぎる可能性があります, または、ターゲットの側面が接地されたコンポーネントに接触している可能性があります

理由分析 7: 気密性に問題があると思われます, 個人的に考える

解決 1: 提案 1) ガスの均一性を確認してください; 2) 片側に空気漏れがあるかどうか?

解決 2: XPS分析を行うことをお勧めします, またはもう一度実験をしてください.

概要: 上記の分析に基づく, ターゲットが中毒して黒くなる主な理由は、過度に高温です, 不安定な電源, ガスの均一性と気密性これらの考えられる主な原因を確認してください, ステップバイステップでトラブルシューティングします.

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