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Quali sono gli obiettivi comuni di Sputtering in ceramica

2021年10月10日

Con lo sviluppo dell'industria elettronica, i materiali high-tech si stanno gradualmente spostando verso i film sottili, e durante il periodo di rivestimento, si sviluppano rapidamente. Il target è un materiale elettronico speciale ad alto valore aggiunto, ed è la fonte di sputtering di materiali a film sottile. Come materiale di base per lo sviluppo dell'industria del film sottile non metallico, gli obiettivi ceramici hanno raggiunto uno sviluppo senza precedenti, e il mercato di riferimento si espande di giorno in giorno..

I bersagli piatti in ceramica domestica utilizzano principalmente processi di sinterizzazione e legatura, che può produrre una lunghezza massima di 600mm, una larghezza massima di 400 mm, e uno spessore massimo di 30mm. Gli angoli arrotondati, bordi smussati, gradini e altre forme speciali possono essere lavorate secondo le esigenze del cliente..

Gli obiettivi comuni in ceramica includono principalmente: QUESTO obiettivo, bersaglio di ossido di magnesio, bersaglio di ossido di ferro, bersaglio di nitruro di silicio, bersaglio in carburo di silicio, bersaglio di nitruro di titanio, bersaglio di ossido di cromo, bersaglio di ossido di zinco, bersaglio di monossido di silicio, bersaglio di ossido di cerio, Obiettivo di solfuro di zinco, bersaglio di biossido di silicio, bersaglio di biossido di zirconio, bersaglio di pentossido di niobio, bersaglio di biossido di titanio, bersaglio di biossido di afnio, bersaglio di boruro di titanio, bersaglio diboruro di zirconio, bersaglio triossido di tungsteno, ossido di alluminio, Pentossido di tantalio target, bersaglio di pentossido di niobio, bersaglio di fluoruro di magnesio, bersaglio di fluoruro di ittrio, bersaglio di seleniuro di zinco, bersaglio di nitruro di alluminio, bersaglio di nitruro di silicio, bersaglio nitruro di boro, bersaglio di nitruro di titanio, bersaglio in carburo di silicio , Obiettivo al niobato di litio, bersaglio di titanato di praseodimio, bersaglio di titanato di bario, bersaglio di titanato di lantanio, bersaglio di ossido di nichel, eccetera..

Tipi di bersagli in ceramica:

(1) Secondo la composizione chimica, può essere diviso in target ceramico di ossido, bersaglio ceramico siliciuro, bersaglio in ceramica nitruro, bersaglio in ceramica al fluoro e bersaglio in ceramica al solfuro, ecc.. Tra questi, il target ceramico ITO con display piatto è stato ampiamente prodotto e applicato in Cina. I target ceramici per film isolanti ad alto dielettrico e target ceramici a magnetoresistenza gigante hanno ampie prospettive di applicazione.

(2) Secondo l'applicazione, può essere suddiviso in bersagli ceramici correlati ai semiconduttori, visualizzare bersagli in ceramica, bersagli ceramici a registrazione magnetica, bersagli in ceramica con registrazione ottica, bersagli ceramici superconduttori, bersagli ceramici giganti a magnetoresistenza, eccetera..

Gli obiettivi in ​​ceramica rappresentano solo una parte molto piccola della complessa produzione esistente di prodotti elettronici, ma svolgono un ruolo come materiale principale di base per l'industria dell'informazione..l'industria dell'informazione elettronica del mio paese si sta sviluppando rapidamente, e la domanda di obiettivi di sputtering ceramico sta aumentando di anno in anno. La futura ricerca e sviluppo di target di sputtering ceramico sarà un argomento importante per i fornitori target del nostro Paese..

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