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Elenco dei parametri tecnici della macchina per rivestimento ottico multistrato

2021年8月31日

modello
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
Dimensioni della stanza di rivestimento
1050×1250, 304 acciaio inossidabile.
800×1000
900×1050
1200×1250
Dimensione interna della cavità di rivestimento
La staffa del dispositivo è a 1680 mm dal suolo, adatto per l'altezza di funzionamento ergonomica.
La staffa del dispositivo è a 1468 mm dal suolo, adatto per l'altezza di funzionamento ergonomica.
La staffa del dispositivo è a 1510 mm dal suolo, adatto per l'altezza di funzionamento ergonomica.
1.Disco monopezzo arcuato, per incontrare i clienti’ ha bisogno di uniformità in misura maggiore. Rotazione 5-30 giri/min, cambio di velocità continuo.
2.Il disco arcuato a tre pezzi, rivoluzione e rotazione planetaria, per soddisfare al massimo le esigenze dei clienti per la capacità di produzione. Rotazione 5-30 giri/min, cambio di velocità continuo.
apparecchio
Disponibile in quattro pezzi, l'angolo della staffa è regolabile, per soddisfare maggiormente le esigenze dei clienti per l'uniformità. Rotazione 5-30 giri/min, cambio di velocità continuo.
Disco monopezzo arcuato, per incontrare i clienti’ ha bisogno di uniformità in misura maggiore. Rotazione 5-30 giri/min, cambio di velocità continuo.
Disco monopezzo arcuato, per incontrare i clienti’ ha bisogno di uniformità in misura maggiore. Rotazione 5-30 giri/min, cambio di velocità continuo.
Sistema di vuoto
Unità: pompa a diffusione DIP-12000 (Leybold), Pompa per radici ZJY-300, pompa meccanica 2X-70, pompa di manutenzione 2X-8. La conduttura è 304 acciaio inossidabile.
Unità: Pompa a diffusione KT-400 (Zhenhua), Pompa per radici ZJY-150, pompa meccanica 2X-70, pompa di manutenzione 2X-8.
Unità: pompa di diffusione KT-600 (Zhenhua), Pompa per radici ZJY-600, pompa meccanica 2X-70, pompa di manutenzione 2X-8.
Unità: Pompa a diffusione KT-800 (Zhenhua), Pompa per radici ZJY-600, pompa meccanica 2X-70, pompa di manutenzione 2X-8.
Vuoto estremo: meglio di 4×10-4 Pa.
Dotato di dispositivo anti-turbolenza, design dell'interblocco di sicurezza, manuale e automatico opzionale.
Sistema di riscaldamento
Metodo di riscaldamento sul tubo di riscaldamento, Controllo PID, massimo 350℃±1.5℃.
Inflazione del gas di lavoro
Strumento di controllo del flusso di massa del gas o regolazione manuale della valvola di gonfiaggio.
Bombardamento di ionizzazione sotto vuoto
CC 3KV, 06Catodo a barra KW (utilizzato per pulire il pezzo prima del rivestimento).
Fonte di evaporazione (opzionale)
1. Cannone elettronico TELEMARK-270° (importato), 6KW, alta tensione 4KV-10KV regolabile. Scansione di posizionamento, scansione dell'onda triangolare, scansione circolare, scansione a spirale. Buona messa a fuoco spot del fascio, elevata precisione di posizionamento, e buona riproducibilità della scansione.
2. Cannone elettronico domestico (Zhenhua): 6KW, alta tensione 4KV (8KV regolabile), può scegliere l'onda triangolare, onda sinusoidale, scansione ad onda quadra liberamente.
3. crogiolo: crogiolo 38×20 a sei cavità o crogiolo 38×20 a quattro cavità più un crogiolo a forma di arco a una cavità con una lunghezza dell'arco centrale di 87 (utilizzato per l'elevato consumo di materiali di evaporazione a basso punto di fusione) o quattro cavità crogiolo 48×18.
Sorgente ionica (opzionale)
1. RF (Frequenza radio) Sorgente ionica (importato).
2. 5Sorgente ionica KVA Hall (prodotto da Zhenhua), utilizzato per la pulizia prima della galvanica o della placcatura ausiliaria nel processo di galvanica, che è utile per migliorare l'indice di rifrazione del film, la fermezza, e la densità e l'adesione del film.
Sistema di controllo dello spessore del film (selezione)
1. Controller di cristallo MDC-360 (importato) può memorizzare 1~99 strati di processo di rivestimento automatico, 99 tipi di dati di programma, precisione 0.5%+1? Risolto errore.2Controller a cristalli TELEMARK-880 (importare): può memorizzare 1~99 strati di processo di rivestimento automatico, 99 tipi di dati del programma.精度0,5%+1? Errore fisso.
3. Controllore ottico TELEMARK-820 (importare): adotta la tecnologia di analisi degli end-point a spettro completo multi-lunghezza d'onda, e giudica la fine del film analizzando la trasmittanza (o riflettanza) curva del foglio monitor 370-870 mm.Elevata precisione di controllo, controllo della singola lunghezza d'onda, è anche possibile utilizzare il controllo automatico e il controllo manuale. Software aggiuntivo di calcolo del film MACILEOD, alto grado di integrazione.
4. Il controller ottico TELEMARK-820 e il controller a cristallo TELEMARK-880 possono soddisfare i requisiti di rivestimento ad alta precisione e alta ripetibilità. Collaborare con il computer host per realizzare un controllo completamente automatico.
5. Controller ottico domestico (ad esempio 9704 monocromatore abbinato, eccetera.), la lunghezza d'onda è regolabile da 330 a 870, e la precisione può raggiungere ± 1,5 nm.
comunicatore
Con base magnetica, può essere posizionato in qualsiasi posizione della porta della camera del vuoto e del quadro elettrico.

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